特許
J-GLOBAL ID：201803012272847979
コーティング膜の製造方法およびコーティング膜を有するオプトエレクトロニクス半導体部品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鷲田 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-140390
公開番号（公開出願番号）：特開2018-193617
出願日： 2018年07月26日
公開日（公表日）： 2018年12月06日
要約：
【課題】形状適合的被覆コーティング膜の製造方法及び該被覆コーティング膜を有するオプトエレクトロニクス半導体部品の提供。【解決手段】材料源4を設けるステップと、上面1aを有する基板ホルダ1を設けるステップと、基板ホルダ1とは反対側のコーティング面2aを有する少なくとも1層のベース層2を基板ホルダ1の上面1aに設けるステップと、基板ホルダ1を回転アーム3に取り付けるステップであって、回転アーム3は回転アーム3の主延在方向の長さ3Lを有するステップと、法線角φが本方法の全体を通して少なくとも30°最大でも75°であるように回転アーム3の長さ3Lを設定するステップと、少なくとも1層のコーティング膜をベース層2のコーティング面2a側に材料源4で被着するステップとを含み、コーティング膜のコーティングプロセス中基板ホルダ1は回転アーム3の主延在方向の基板回転軸を中心に回転されるコーティング膜の製造方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
- 蒸発面(4a)および主コーティング方向(Z)を有する材料源(4)を設けるステップと、
- 上面(1a)を有する基板ホルダ(1)を設けるステップと、
- 前記基板ホルダ(1)とは反対側のコーティング面(2a)を有する少なくとも1層のベース層(2)を前記基板ホルダ(1)の前記上面(1a)に設けるステップと、
- 前記基板ホルダ(1)を回転アーム(3)に取り付けるステップであって、前記回転アーム(3)は、前記回転アーム(3)の主延在方向の長さ(3L)を有する、ステップと、
- 前記ベース層(2)の前記コーティング面(2a)の、前記コーティング面(2a)の上のサンプル点(2p)を通る面法線と、前記材料源(4)の前記蒸発面(4a)の点(4m)から前記コーティング面(2a)の上の前記サンプル点(2p)までの接続ベクトル(42)から導かれるサンプルベクトルとが囲む法線角(φ)が本方法の全体を通して少なくとも30°でありかつ最大でも75°であるように前記回転アーム(3)の前記長さ(3L)を調節するステップであって、前記長さ(3L)は、前記回転アーム(3)の前記基板ホルダ(1)とは反対側の端部が固定されるロータリージョイント(53)を前記基板ホルダ(1)とは反対方向に変位することによってか、または前記回転アーム(3)の前記ロータリージョイント(53)への固定箇所を変位することによって調節されるステップと、
- 少なくとも1層のコーティング膜(22)を、前記ベース層(2)の前記コーティング面(2a)を含む側に前記材料源(4)を用いて被着するステップと、を含み、
- 前記コーティング膜(22)のコーティングプロセス中、前記基板ホルダ(1)は、前記回転アーム(3)の前記主延在方向に沿って延びる基板回転軸を中心に回転される、
コーティング膜の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C14/50 H
, H01L21/203 Z
4K029AA21
, 4K029AA24
, 4K029BA01
, 4K029BA31
, 4K029BC03
, 4K029BC05
, 4K029BC07
, 4K029BD01
, 4K029CA01
, 4K029EA01
, 4K029JA03
, 5F103AA10
, 5F103BB38
, 5F103RR10
