特許

J-GLOBAL ID：201803012385863814

酸化アルミニウム膜の製造方法、酸化アルミニウム膜の製造原料、及びアルミニウム化合物

発明者： 白井 昌志 ,  二瓶 央 ,  宮崎 貴匡 ,  向 純一
出願人/特許権者： 宇部興産株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲 ,  石坂 泰紀
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016074032
公開番号（公開出願番号）：WO2017-030150
出願日： 2016年08月17日
公開日（公表日）： 2017年02月23日
要約：

加熱されている成膜対象物上に下記式(1)で示されるアルミニウム化合物を供給し、前記アルミニウム化合物を酸化することにより成膜対象物上に酸化アルミニウム膜を形成する工程を有する、酸化アルミニウム膜の製造方法を提供する。下記式(1)中、Rは炭素原子数1〜2の直鎖状のアルキル基を示し、複数のRは互いに同一又は異なっていてもよい。t-Buはターシャリーブチル基を示す。 【化1】

請求項（抜粋）：

加熱されている成膜対象物上に下記式(1)で示されるアルミニウム化合物を供給し、前記アルミニウム化合物を酸化することにより前記成膜対象物上に酸化アルミニウム膜を形成する工程を有する、酸化アルミニウム膜の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 21/316 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/18

FI (4件)：

H01L21/316 C ,  H01L21/316 X ,  C23C16/40 ,  C23C16/18

Fターム (18件)：

4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA43 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA01 ,  4K030FA10 ,  4K030HA01 ,  4K030JA10 ,  4K030LA15 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BD05 ,  5F058BF06 ,  5F058BF27 ,  5F058BF29 ,  5F058BF37 ,  5F058BJ01