特許
J-GLOBAL ID:201803012486023060

被膜

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人深見特許事務所
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2016070016
公開番号(公開出願番号):WO2017-010374
出願日: 2016年07月06日
公開日(公表日): 2017年01月19日
要約:
基材の表面に位置する被膜のうち少なくとも1層は、組成の異なる2以上のドメインから構成されるドメイン構造層である。ドメイン構造層中に複数存在する各第1ドメインのサイズを、各第1ドメインに接する仮想の外接円の直径とし、かつ各第1ドメインの最近接距離を、外接円の中心と該外接円と隣り合う他の外接円の中心とを結ぶ直線距離のうちの最も短い距離とした場合、各第1ドメインのサイズの平均値は1nm以上10nm以下であり、第1ドメインの最近接距離の平均値は1nm以上12nm以下であり、第1ドメインのうち95%以上の第1ドメインは、サイズの平均値に対する±25%以下の範囲内のサイズを有し、各第1ドメインのうち95%以上の第1ドメインは、最近接距離の平均値に対する±25%以下の範囲内の最近接距離を有する。
請求項(抜粋):
基材の表面に位置する被膜であって、 前記被膜は、1以上の層を含み、 前記層のうち少なくとも1層は、組成の異なる2以上のドメインから構成されるドメイン構造層であり、 2以上の前記ドメインのうちの1つである第1ドメイン、および他の1つである第2ドメインは、Al、B、Si、周期表の第4族元素、第5族元素および第6族元素からなる群より選択される少なくとも1種の元素と、B、O、C、およびNからなる群より選択される少なくとも1種の元素と、からなり、 前記第1ドメインは、前記ドメイン構造層中に複数存在し、 前記ドメイン構造層の面内方向における前記各第1ドメインのサイズを、前記各第1ドメインに接する仮想の外接円の直径とし、かつ前記ドメイン構造層の面内方向における前記各第1ドメインの最近接距離を、前記外接円の中心と該外接円と隣り合う他の前記外接円の中心とを結ぶ直線距離のうちの最も短い距離とした場合、 前記各第1ドメインのサイズの平均値は、1nm以上10nm以下であり、 前記各第1ドメインの最近接距離の平均値は、1nm以上12nm以下であり、 前記第1ドメインのうち95%以上の前記第1ドメインは、前記サイズの平均値に対する±25%以下の範囲内のサイズを有し、 前記第1ドメインのうち95%以上の前記第1ドメインは、前記最近接距離の平均値に対する±25%以下の範囲内の最近接距離を有する、被膜。
IPC (1件):
C23C 14/06
FI (1件):
C23C14/06 A
Fターム (21件):
3C046FF02 ,  3C046FF03 ,  3C046FF04 ,  3C046FF05 ,  3C046FF10 ,  3C046FF16 ,  3C046FF19 ,  4K029BA41 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA06 ,  4K029CA13 ,  4K029DA08 ,  4K029DC16 ,  4K029DC33 ,  4K029EA08 ,  4K029FA04 ,  4K029JA02

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