ウエハ積層体、その製造方法、及びウエハ積層用接着剤組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人英明国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-189703
公開番号（公開出願番号）：特開2018-064092
出願日： 2017年09月29日
公開日（公表日）： 2018年04月19日
要約：

【課題】支持体とウエハとの接合が容易であり、ウエハの支持体からの剥離も容易で、薄型ウエハの生産性を高めることができる、薄型ウエハ製造に適したウエハ積層体、及びその製造方法を提供する。【解決手段】支持体と、該支持体上に形成された接着剤層と、該接着剤層に回路面を有する表面が対向するように積層されたウエハとを備えたウエハ積層体であって、前記接着剤層が、遮光性を有する樹脂Aとシロキサン骨格を含む樹脂Bとを含む接着剤組成物の硬化物であるウエハ積層体。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持体と、該支持体上に形成された接着剤層と、該接着剤層に回路面を有する表面が対向するように積層されたウエハとを備えたウエハ積層体であって、前記接着剤層が、下記式(1)で表される繰り返し単位を含み、重量平均分子量が500〜500,000である樹脂Aと、シロキサン骨格を含む樹脂Bとを含む接着剤組成物の硬化物であるウエハ積層体。

IPC (6件)：

H01L 21/02 , C09J 145/00 , C09J 183/04 , C09J 11/06 , C09J 7/20 , H01L 21/304

FI (6件)：

H01L21/02 C , C09J145/00 , C09J183/04 , C09J11/06 , C09J7/02 Z , H01L21/304 622J

Fターム (24件)：

4J004AA11 , 4J004AB05 , 4J004CB03 , 4J004CC02 , 4J004FA04 , 4J040EK031 , 4J040EL011 , 4J040JA09 , 4J040JB02 , 4J040KA16 , 4J040KA23 , 4J040LA01 , 4J040LA06 , 4J040NA20 , 5F057AA14 , 5F057BA11 , 5F057BB03 , 5F057CA14 , 5F057DA11 , 5F057EC02 , 5F057EC20 , 5F057FA22 , 5F057FA28 , 5F057FA30

前のページに戻る