特許
J-GLOBAL ID：201803012677996050

加熱冷却モジュール

発明者：
北林 桂児

北林 桂児 について

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先田 成伸

先田 成伸 について

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三雲 晃

三雲 晃 について


出願人/特許権者：
住友電気工業株式会社

住友電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 辻川 典範
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-123256
公開番号（公開出願番号）：特開2017-228627
出願日： 2016年06月22日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：
【課題】 高温の被処理物を面方向の均熱性を保ちながら素早く降温させることが可能な冷却性能の高い可動式冷却板を備えたウエハ加熱用ヒータを提供する。【解決手段】 上面に被処理物としての半導体ウエハを載置するウエハ載置面11aを有し、該半導体ウエハを加熱する抵抗発熱体等の発熱部13を備えた円板状のヒータユニット10と、該ヒータユニット10のウエハ載置面11aとは反対側の面に対して当接する位置と離間する位置との間で往復動可能な可動式冷却板21と、該離間する位置にある時の冷却板21が当接する冷却ステージ22とを有する加熱冷却モジュールであって、可動式冷却板21は、ヒータユニット10に当接する側の上面21aが周縁部から中心部に向かって徐々に深くなる凹状であり、その平面度が好適には20〜100μmである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
上面に被処理物を載置する載置面を有し、前記被処理物を加熱する発熱体を備えた円板状のヒータユニットと、前記ヒータユニットの前記載置面とは反対側の面に対して当接する位置と離間する位置との間で往復動可能な可動式冷却板と、前記離間する位置にある時の前記冷却板が当接する冷却ステージとを有する加熱冷却モジュールであって、前記可動式冷却板は、前記ヒータユニットに当接する側の面が周縁部から中心部に向かって徐々に深くなる凹状である加熱冷却モジュール。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (17件)：
5F131AA02 ,  5F131BA03 ,  5F131BA04 ,  5F131BA12 ,  5F131BA13 ,  5F131BA14 ,  5F131BA19 ,  5F131CA03 ,  5F131CA07 ,  5F131CA32 ,  5F131EA04 ,  5F131EA15 ,  5F131EA23 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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