ウェーハ研磨装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 増井裕士 , 細川文広
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-267186
公開番号（公開出願番号）：特開2015-126001
特許番号：特許第6232654号
出願日： 2013年12月25日
公開日（公表日）： 2015年07月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】回転体と、前記回転体と同軸状に配置されかつ前記回転体と一体的に回転するとともに前記回転体に対して回転中心の軸線の方向に相対移動可能に設けられた回転軸と、前記回転体に対して前記回転軸を一端側へ付勢する付勢部材と、前記回転軸の他端側に球面軸受機構を介して揺動可能に支持されるとともに研磨対象であるウェーハを保持するワークチャックと、前記回転体と前記ワークチャックとの間に介装されたエアーバッグとを備え、前記球面軸受機構は、その揺動中心が前記ウェーハを含む前記ワークチャックの厚さ内に位置するように設定され、前記エアーバッグにエアーが導入されるときに、前記付勢部材の付勢力に抗して前記ワークチャックが回転体から離間する方向へ相対移動し、該ワークチャックに保持された前記ウェーハを研磨パッドへ押し付けることを特徴とするウェーハ研磨装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 ( 200 6.01) , B24B 37/04 ( 201 2.01)

FI (2件)：

H01L 21/304 622 K , B24B 37/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

低重心エアバック式研磨ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-279095 出願人：ラップマスターエスエフティ株式会社
ワークスピンドル
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-130638 出願人：ラップマスターエスエフティ株式会社
CMP研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-026840 出願人：三菱電機株式会社

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