特許
J-GLOBAL ID:201803012694660987
光学測定装置および光学測定方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-102606
公開番号(公開出願番号):特開2018-197705
出願日: 2017年05月24日
公開日(公表日): 2018年12月13日
要約:
【課題】試料に印加される刺激に対する応答の結果生じるプローブ光の強度変化を検出信号の位相変化として検出する場合と比べて、高い信号雑音比で測定することが可能な光学測定装置および光学測定方法を提供する。【解決手段】加算器(201)は、重み付加器(200)で得られる光検出信号の強度に応じた重みを、位相制御器(16)で調整された同期信号に加算して補償同期信号を導出し、乗算器(12)が補償同期信号と光検出信号とを乗算することで、光検出信号の位相ノイズが強度ノイズにより引き起こされた場合であっても、その位相ノイズと相関させて同期信号の位相が変調されるので、位相ノイズをキャンセルすることができる。【選択図】図11
請求項(抜粋):
光源から出力された出力光を所定時間遅延させて参照光として出力する遅延部と、
前記出力光と前記参照光と刺激光とを試料へ照射し、かつ前記試料からの測定光を受光し、受光した光の強度に応じた光検出信号を出力する受光部と、
前記光検出信号と前記光源に同期する同期信号とに基づいて定めた補償同期信号と、前記光検出信号とを乗算して光検出信号に含まれる雑音成分を除去する除去部と、
を備えた光学測定装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (24件):
2G043AA01
, 2G043EA03
, 2G043EA13
, 2G043EA14
, 2G043FA06
, 2G043HA02
, 2G043HA09
, 2G043KA09
, 2G043MA01
, 2G043NA01
, 2G059AA01
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE03
, 2G059EE12
, 2G059GG01
, 2G059GG03
, 2G059GG06
, 2G059JJ13
, 2G059JJ22
, 2G059KK03
, 2G059LL01
, 2G059MM01
, 2G059NN01
引用特許:
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