特許

J-GLOBAL ID：201803012742361466

検査装置、検査システム及び物品の製造方法

発明者： 植村 卓典
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  大塚 康弘 ,  高柳 司郎 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-043065
公開番号（公開出願番号）：特開2018-146442
出願日： 2017年03月07日
公開日（公表日）： 2018年09月20日
要約：

【課題】ワークの外観を検査するのに有利な検査装置を提供する。【解決手段】外観の検査装置で、ワーク11を斜め上方から撮像する第1撮像部101及び第2撮像部102と、ワークを照明する複数の光源114と、撮像部と光源の制御部と、ワークの外観の評価処理部を有し、制御部は、複数の光源のうち、ワーク撮像方位角とワーク照明方位角との間の差が90度以下の光源でワークを照明し、第1、第2撮像部でワークを撮像させ、第1、第2撮像部は、ワークの被検査領域以下の撮像視野を有し、第1撮像部は第1領域を撮像し、第2撮像部は、第2領域を撮像し、第1領域及び第2領域は、第1領域と前記第2領域との重複領域を有し、第1領域と第2領域とにより被検査領域の全体が含まれるように設定し、処理部は、第1撮像部での画像に基き、被検査領域のうち第1領域の外観を評価し、第2撮像部の画像に基づき被検査領域のうち第2領域の外観を評価する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ワークの外観を検査する検査装置であって、 前記ワークを斜め上方からそれぞれ撮像し、前記ワークを撮像する方位が互いに対向するように配置された第1撮像部及び第2撮像部と、 互いに異なる方向から前記ワークを照明する複数の光源と、 前記第1撮像部、前記第2撮像部及び前記複数の光源を制御する制御部と、 前記ワークの外観を評価する処理部と、を有し、 前記制御部は、前記複数の光源のうち、前記ワークを撮像する方位角と前記ワークを照明する方位角との間の角度差が90度より小さい光源に前記ワークを照明させた状態で前記第1撮像部及び前記第2撮像部のそれぞれに前記ワークを撮像させ、 前記第1撮像部及び前記第2撮像部のそれぞれは、前記ワークの被検査領域より小さい撮像視野を有し、前記第1撮像部は、前記被検査領域のうち前記第2撮像部側より前記第1撮像部側の第1領域を撮像し、前記第2撮像部は、前記被検査領域のうち前記第1撮像部側より前記第2撮像部側の第2領域を撮像し、 前記第1領域及び前記第2領域は、前記第1領域と前記第2領域とが重なる重複領域を有するように、且つ、前記第1領域と前記第2領域とにより前記被検査領域の全体が含まれるように設定され、 前記処理部は、前記第1撮像部で得られた画像に基づいて前記被検査領域のうち前記第1領域の外観を評価し、前記第2撮像部で得られた画像に基づいて前記被検査領域のうち前記第2領域の外観を評価することを特徴とする検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/89 ,  G01B 11/30

FI (2件)：

G01N21/89 Z ,  G01B11/30 A

Fターム (31件)：

2F065AA49 ,  2F065CC15 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF44 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL59 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ41 ,  2F065TT03 ,  2G051AA07 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC03