特許
J-GLOBAL ID:201803012789486470

一体型照明システムを有する結合部試験装置及び結合部試験カートリッジ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 田中 伸一郎 ,  弟子丸 健 ,  ▲吉▼田 和彦 ,  松下 満 ,  倉澤 伊知郎 ,  山本 泰史 ,  磯貝 克臣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-021779
公開番号(公開出願番号):特開2018-128457
出願日: 2018年02月09日
公開日(公表日): 2018年08月16日
要約:
【課題】結合部試験機械の照明問題に有用な解決法を提供すること。【解決手段】一つの観点において、試験のために結合部を支持するためのステージと、結合部試験の間に前記結合部に接触するように構成された試験ツールチップを有する試験ツールと、前記ステージと前記試験ツールとの間に接続され、前記結合部試験の間に前記ステージと前記試験ツールとの間の相対移動を提供するように構成された駆動機構と、前記試験ツールに対して固定された1または複数の光源と、前記試験ツールに対して固定され、前記1または複数の光源からの光を前記試験ツールチップに向けるように構成された光案内部と、を備えたことを特徴とする結合部試験装置が提供される。【選択図】図4
請求項(抜粋):
試験のために結合部を支持するためのステージと、 結合部試験の間に前記結合部に接触するように構成された試験ツールチップを有する試験ツールと、 前記ステージと前記試験ツールとの間に接続され、前記結合部試験の間に前記ステージと前記試験ツールとの間の相対移動を提供するように構成された駆動機構と、 前記試験ツールに対して固定された1または複数の光源と、 前記試験ツールに対して固定され、前記1または複数の光源からの光を前記試験ツールチップに向けるように構成された光案内部と、 を備えたことを特徴とする結合部試験装置。
IPC (1件):
G01L 5/00
FI (1件):
G01L5/00 Z
Fターム (1件):
2F051AB09
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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