特許

J-GLOBAL ID：201803013038500210

欠陥検査装置、方法およびプログラム

発明者： 金子 康彦
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016080855
公開番号（公開出願番号）：WO2017-130477
出願日： 2016年10月18日
公開日（公表日）： 2017年08月03日
要約：

検査対象の工業製品(被検査体)の画像を用いて欠陥の有無の検査を行う場合に、読影者が、欠陥を精度よく、効率的に検出できるようにする欠陥検査装置、方法およびプログラムを提供する。撮影画像データIMG1には、画像処理部22によって検出された欠陥候補を示す画像(欠陥候補画像D1〜D3)が付されている。スライダーL1およびL2には、それぞれ肉厚およびサイズごとの欠陥候補の検出数を示すヒストグラムH1およびH2が並べて表示されている。チェックボックスCB1の欠陥の種類が操作部14により選択されると、制御部12は、選択された種類の欠陥候補画像のみを被検査体画像IMG1の上に表示する。操作部14によりスライダーL1、L2が操作されると、スライダーL1によって選択された肉厚の範囲内で、スライダーL2によって選択されたサイズの範囲内の欠陥候補画像のみが表示され、それぞれの範囲外の欠陥候補画像は消去される。

請求項（抜粋）：

被検査体に光線または放射線を照射することにより得られた前記被検査体からの反射光または透過光に基づいて作成された受光画像を取得する画像取得手段と、 前記受光画像から前記被検査体における欠陥候補の位置および特徴を算出する画像処理手段と、 前記受光画像を表示し、かつ、前記受光画像上に前記画像処理手段による前記欠陥候補の算出結果を表示する表示手段と、 前記表示手段に表示すべき欠陥候補の特徴の範囲を変更する操作を受け付け、前記操作にしたがって、前記画像処理手段によって算出された前記欠陥候補のうち、前記特徴の範囲に属するもののみを、前記表示手段に表示された前記受光画像上に表示させる操作手段と、 を備える欠陥検査装置。

IPC (4件)：

G01N 23/04 ,  G01N 23/18 ,  G01B 15/00 ,  G01N 21/88

FI (4件)：

G01N23/04 340 ,  G01N23/18 ,  G01B15/00 H ,  G01N21/88 Z

Fターム (30件)：

2F067AA03 ,  2F067BB06 ,  2F067CC06 ,  2F067HH04 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK06 ,  2F067KK08 ,  2F067LL16 ,  2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001BA15 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001GA06 ,  2G001HA13 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001KA11 ,  2G001SA13 ,  2G051AB02 ,  2G051AB03 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051EA12 ,  2G051EA21 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051FA02