特許

J-GLOBAL ID：201803013095255124

酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット

発明者： 井上 一吉 ,  柴田 雅敏 ,  笘井 重和
出願人/特許権者： 出光興産株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人平和国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-071473
公開番号（公開出願番号）：特開2018-131382
出願日： 2018年04月03日
公開日（公表日）： 2018年08月23日
要約：

【課題】新規な酸化物焼結体及びスパッタリングターゲットを提供するを提供する。【解決手段】ペロブスカイト相及びIn2O3で表されるビックスバイト相を含む酸化物焼結体。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ペロブスカイト相及びIn2O3で表されるビックスバイト相を含む酸化物焼結体。

IPC (5件)：

C04B 35/01 ,  C23C 14/34 ,  H01L 21/363 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (6件)：

C04B35/01 ,  C23C14/34 A ,  H01L21/363 ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 618A ,  H01L29/78 618F

Fターム (37件)：

4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA43 ,  4K029BA44 ,  4K029BA45 ,  4K029BA50 ,  4K029BB08 ,  4K029BD01 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC24 ,  4K029DC34 ,  4K029DC35 ,  4K029GA01 ,  5F103AA08 ,  5F103BB22 ,  5F103DD30 ,  5F103LL07 ,  5F103RR05 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110BB10 ,  5F110CC07 ,  5F110DD05 ,  5F110GG01 ,  5F110GG06 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110GG43 ,  5F110HM18 ,  5F110NN01 ,  5F110NN23 ,  5F110NN35 ,  5F110NN55 ,  5F110NN72 ,  5F110PP10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特許第6326560号
  
• 特許第6326560号
  
• ガーネット型化合物とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-176732   出願人：富士フイルム株式会社
• セラミックス複合材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-023404   出願人：宇部興産株式会社