特許

J-GLOBAL ID：201803013118273613

加振装置及び動電型アクチュエータ

発明者： 松本 繁 ,  宮下 博至 ,  村内 一宏 ,  遠藤 稔
出願人/特許権者： 国際計測器株式会社
代理人 (1件)： 松岡 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-145581
公開番号（公開出願番号）：特開2018-185340
出願日： 2018年08月02日
公開日（公表日）： 2018年11月22日
要約：

【課題】動電型アクチュエータの可動部を中立位置に保持可能にする。【解決手段】 本発明の一実施形態に係る動電型アクチュエータは、略筒状の固定部と、固定部の中空部内に少なくとも一部が収容され、固定部の軸線方向に往復駆動される可動部と、固定部と可動部とを弾性的に連結して可動部を固定部に対して軸線方向における中立位置に弾性的に支持する中立ばね機構と、を備えたものである。【選択図】図13

請求項（抜粋）：

振動テーブルと、 前記振動テーブルをX軸方向に加振するX軸加振ユニットと、 前記振動テーブルをY軸方向に加振するY軸加振ユニットと、 前記振動テーブルをZ軸方向に加振するZ軸加振ユニットと、 前記振動テーブルと前記Z軸加振ユニットとを前記X軸方向へスライド可能に連結するX軸リニアガイドウェイと、 前記振動テーブルと前記Z軸加振ユニットとを前記Y軸方向へスライド可能に連結するY軸リニアガイドウェイと、 を備え、 前記X軸リニアガイドウェイが、 前記X軸方向へ延びるX軸レールと、 前記X軸レールと前記X軸方向にスライド可能に係合するX軸キャリッジと、 を備え、 前記Y軸リニアガイドウェイが、 前記Y軸方向へ延びるY軸レールと、 前記Y軸レールと前記Y軸方向にスライド可能に係合するY軸キャリッジと、 を備え、 前記X軸キャリッジが前記Y軸キャリッジに直接固定された、 加振装置。

IPC (3件)：

G01M 7/06 ,  B06B 1/04 ,  G01M 7/02

FI (3件)：

G01M7/06 ,  B06B1/04 Z ,  G01M7/02 G

Fターム (5件)：

5D107AA16 ,  5D107BB09 ,  5D107CC08 ,  5D107CC10 ,  5D107FF10