特許

J-GLOBAL ID：201803013241578984

共焦点変位計

発明者： 久我 翔馬
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (3件)： 福島 祥人 ,  中川 雅博 ,  澤村 英幸
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016088009
公開番号（公開出願番号）：WO2017-110838
出願日： 2016年12月21日
公開日（公表日）： 2017年06月29日
要約：

【課題】計測対象物の変位を容易かつ正確に計測することが可能な共焦点変位計を提供する。【解決手段】色収差を有する光がレンズユニット(220)により収束されて計測ヘッド(200)から計測対象物(S)に照射される。計測対象物(S)の表面で合焦しつつ反射された波長の光が計測ヘッド(200)内の光ファイバ(314)を通過する。光ファイバ(314)を通過した光は、処理装置(100)内の分光部(130)に導かれ、分光される。処理装置(100)においては、分光部(130)により分光された光は受光部(140)により受光され、受光部(140)から出力される受光信号が制御部(152)により取得される。制御部(152)は、取得された受光信号に基づいて変位を計測するとともに、受光信号を外部のPC(600)に与える。PC(600)のCPU(601)は、現時点よりも前の時点で取得された受光信号から現時点で取得された受光信号への変化を変化情報として表示部(700)に表示させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の波長を有する光を出射する投光部と、 前記投光部により出射された光に光軸方向に沿った色収差を発生させるとともに、色収差を有する光を収束させて計測対象物に照射する光学部材と、 前記光学部材により前記計測対象物に照射された光のうち、前記計測対象物の表面で合焦しつつ反射された波長の光を通過させるピンホールを有するピンホール部材と、 前記計測対象物の表面で反射されるとともに前記ピンホールを通過する光についての波長ごとの強度を示す受光信号を取得する取得部と、 前記ピンホールを通過した光についての波長ごとの信号強度に基づいて前記計測対象物の変位を算出する変位計測部とを備える共焦点変位計であって、 現時点よりも前の時点で前記取得部により取得された受光信号から現時点で前記取得部により取得された受光信号への変化を変化情報として表示する表示部を備える、共焦点変位計。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01C 3/06

FI (2件)：

G01B11/00 B ,  G01C3/06 120P

Fターム (38件)：

2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065EE08 ,  2F065EE11 ,  2F065FF10 ,  2F065GG06 ,  2F065GG23 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL02 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL44 ,  2F065LL67 ,  2F065NN02 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065RR06 ,  2F112AB05 ,  2F112AB07 ,  2F112BA02 ,  2F112BA03 ,  2F112BA05 ,  2F112BA12 ,  2F112CA12 ,  2F112DA13 ,  2F112DA21 ,  2F112DA25 ,  2F112FA19 ,  2F112FA31 ,  2F112FA39 ,  2F112GA05