特許

J-GLOBAL ID：201803013282579243

熱負荷に曝されるスピンドル、ステージ、または部品の受動的位置補償

発明者： ドイル ポール ,  ベリャーエフ アレクサンダー
出願人/特許権者： ケーエルエー-テンカー コーポレイション
代理人 (1件)： 特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-006765
公開番号（公開出願番号）：特開2018-109632
出願日： 2018年01月18日
公開日（公表日）： 2018年07月12日
要約：

【課題】搭載された機械的部品の熱的影響の受動的補正を提供するための装置を提供する。【解決手段】システム上に搭載された機械部品の熱的影響を受動的に補正するための装置は、前記システム上に前記機械部品を搭載するための物理的構成を備え、前記物理的構成は、熱膨張によって、前記機械部品を前記システムに対して対向運動させるように設計され、前記対向運動は、熱膨張が温度変動に線形に依存する熱範囲について実質的に互いに相殺し、前記機械部品は、前記熱範囲内で、温度変動中に前記システムに対して実質的に静止している。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

システム上に搭載された機械部品の熱的影響を受動的に補正するための装置であって、 前記システム上に前記機械部品を搭載するための物理的構成を備え、 前記物理的構成は、熱膨張によって、前記機械部品を前記システムに対して対向運動させるように設計され、 前記対向運動は、熱膨張が温度変動に線形に依存する熱範囲について実質的に互いに相殺し、 前記機械部品は、前記熱範囲内で、温度変動中に前記システムに対して実質的に静止している装置。

IPC (2件)：

G01N 21/84 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N21/84 C ,  H01L21/66 B

Fターム (9件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051DA08 ,  2G051EA23 ,  4M106AA01 ,  4M106CA59 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ32