特許

J-GLOBAL ID：201803013468630931

表面形状測定装置および表面形状測定プログラム

発明者： 宮脇 崇
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 龍華国際特許業務法人
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016075506
公開番号（公開出願番号）：WO2017-038875
出願日： 2016年08月31日
公開日（公表日）： 2017年03月09日
要約：

プローブ光を使用した非接触の三次元形状測定機において、測定面に対してプローブ光が極力直交入射するように測定ヘッドの操作軌跡を予め設定するに当たり、測定物の第1形状データが既知である必要があった。被測定物の表面形状を測定する表面形状測定装置であって、被測定物の表面の測定点までの距離を測定する距離測定器と、表面の測定点における傾きを測定する角度測定器と、距離測定器により測定された距離に基づいて被測定物の基準形状データを算出する第1算出部と、角度測定器により測定された傾きと基準形状データに基づいて、被測定物の詳細形状データを算出する第2算出部とを備える。

請求項（抜粋）：

被測定物の表面形状を測定する表面形状測定装置であって、 前記被測定物の表面の測定点までの距離を測定する距離測定器と、 前記表面の前記測定点における傾きを測定する角度測定器と、 前記距離測定器により測定された前記距離に基づいて前記被測定物の基準形状データを算出する第1算出部と、 前記角度測定器により測定された前記傾きと前記基準形状データに基づいて、前記被測定物の詳細形状データを算出する第2算出部と を備える表面形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 21/20

FI (1件)：

G01B21/20 C

Fターム (31件)：

2F069AA02 ,  2F069AA66 ,  2F069AA77 ,  2F069CC01 ,  2F069CC03 ,  2F069CC04 ,  2F069DD12 ,  2F069DD16 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG12 ,  2F069GG37 ,  2F069GG52 ,  2F069GG59 ,  2F069GG62 ,  2F069GG63 ,  2F069HH09 ,  2F069HH15 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ10 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ17 ,  2F069JJ19 ,  2F069JJ27 ,  2F069JJ28 ,  2F069NN16 ,  2F069NN17 ,  2F069NN26 ,  2F069PP02 ,  2F069QQ07 ,  2F069QQ11