特許

J-GLOBAL ID：201803013541749756

アルミニウム合金スパッタリングターゲット

発明者： 奥野 博行 ,  松村 仁実
出願人/特許権者： 株式会社コベルコ科研
代理人 (4件)： 田中 光雄 ,  山田 卓二 ,  山尾 憲人 ,  佐々木 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-232069
公開番号（公開出願番号）：特開2018-087371
出願日： 2016年11月30日
公開日（公表日）： 2018年06月07日
要約：

【課題】従来のアルミニウム合金スパッタリングターゲットと同程度の導電性を有し、かつフレークの発生を低減できるアルミニウム合金スパッタリングターゲットの提供。【解決手段】Ni、Cr、Fe、Co及びCuから選択される少なくとも1種の元素を合計で0.01〜0.04原子%、好ましくは0.01〜0.03原子%と、La以外の希土類元素から選択される少なくとも1種の元素を合計で0.01〜0.06原子%、好ましくは、0.03〜0.05原子%とを含み、残部がAl及び不可避不純物であるアルミニウム合金スパッタリングターゲット。前記希土類元素がY、Ce、Pr、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy及びYbである前記アルミニウム合金スパッタリングターゲット。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

Ni、Cr、Fe、CoおよびCuからなる群から選択される少なくとも1種の元素を合計で0.01原子%〜0.04原子%と、La以外の希土類元素から選択される少なくとも1種の元素を合計で0.01原子%〜0.06原子%とを含み、残部がAlおよび不可避不純物であることを特徴とするアルミニウム合金スパッタリングターゲット。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  C22C 21/00

FI (2件)：

C23C14/34 A ,  C22C21/00 A

Fターム (3件)：

4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  4K029DC24

引用特許：

審査官引用 (1件)

• フラットパネルディスプレイ用配線膜、およびAl合金スパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-022470   出願人：株式会社神戸製鋼所