特許
J-GLOBAL ID：201803013588622088
材料を表面に被着する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鷲田 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-127571
公開番号（公開出願番号）：特開2018-186288
出願日： 2018年07月04日
公開日（公表日）： 2018年11月22日
要約：
【課題】表面の互いに離間した複数のコーティング領域に第1の材料を被着する方法を提供する。【解決手段】A)コーティング領域2を有する表面1を設け、B)フォトリソグラフィ法によって表面に第1のマスク層3を製造し、第1のマスク層は、コーティング領域の上方に配置される複数の第1の開口部31を備え、C)自立型の第2のマスク層4を設け、次いで第2のマスク層を第1のマスク層に被着し、第2のマスク層は、第1の開口部の上方に配置され、かつ第1の開口部より小さいか、または第1の開口部に等しい大きさの複数の第2の開口部41を備え、D)第1のおよび第2のマスク層における第1のおよび第2の開口部を通して表面のコーティング領域に第1の材料を被着する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
表面(1)の複数の互いに離間したコーティング領域(2)に第1の材料(5)を被着する方法であって、
A) 前記コーティング領域(2)を含む前記表面(1)を設けるステップと;
B) フォトリソグラフィ法によって前記表面(1)に第1のマスク層(3)を製造するステップであって、前記第1のマスク層(3)は、前記コーティング領域(2)の上方に配置される複数の第1の開口部(31)を備える、ステップと;
C) 自立型の第2のマスク層(4)を設け、次いで前記第2のマスク層(4)を前記第1のマスク層(3)に被着するステップであって、前記第2のマスク層(4)は、前記第1の開口部(31)の上方に配置され、かつ前記第1の開口部(31)より小さいか、または前記第1の開口部(31)に等しい大きさの複数の第2の開口部(41)を備える、ステップと;
D) 前記第1のおよび第2のマスク層(3,4)における前記第1のおよび第2の開口部(31,41)を通して前記表面(1)の前記コーティング領域(2)に前記第1の材料(5)を被着するステップと、
を含み、
前記第2のマスク層(4)は、前記方法ステップDの後に除去され、前記第1のマスク層(3)は、前記方法ステップDの後に除去され、前記マスク層(3,4)の除去後、前記第1の材料(5)とは異なる第2の材料(6)が、前記表面(1)の前記第1の材料(5)によって被覆されていない領域に被着され、
および/または、
前記第1の材料(5)を被着するためにスプレーコーティング法、印刷法、またはディスペンス法が使用され、
および/または、
前記第1の材料(5)は、プラスチック材料および/または波長変換材料を含む、
方法。
IPC (4件)：
H01L 33/54
, H01L 33/50
, H01L 33/44
, H01L 21/56
H01L33/54
, H01L33/50
, H01L33/44
, H01L21/56 J
5F061AA01
, 5F061CA05
, 5F061CA12
, 5F061CB02
, 5F061FA01
, 5F142AA13
, 5F142AA82
, 5F142CG03
, 5F142CG04
, 5F142CG05
, 5F142CG06
, 5F142CG24
, 5F142CG32
, 5F142CG43
, 5F142DA14
, 5F142FA14
, 5F142FA26
, 5F241CA77
