特許
J-GLOBAL ID：201803013597302533
レベリング維持力の向上した高性能マスクアライナ用ステージレベリング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
特許業務法人篠原国際特許事務所
, 篠原 泰司
, 藤中 雅之
, 鈴木 和弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-235448
公開番号（公開出願番号）：特開2018-029166
出願日： 2016年12月02日
公開日（公表日）： 2018年02月22日
要約：
【課題】レベリングが完了したウエハステージを確実に固定し、レベリングの歪みを防止するマスクアライナ用ステージレベラリング装置を提供する。【解決手段】レベリングロッド40の外側に挟まれているロッキングリング80が傾斜状態を維持する時には、ロッキングリング80の内周面がレベリングロッド40の両側を加圧固定しながらロッキングし、前記ロッキングリングが水平状態を維持する時には、ロッキングリング80の内周面がレベリングロッド40と離隔しながらロッキングを解除する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
ベース板(10)の上端に円周方向に沿って離隔設置され、中央にロッドガイドホール(21)が上下に貫通して形成されている複数のガイドブロック(20)と、
前記ベース板(10)の底面に取り付けられ、ピストンロッド(31)がベース板(10)を貫通してロッドガイドホール(21)に挿入されている複数のレベリングエアショックアブソーバ(30)と、
前記ピストンロッド(31)の上端に安着された状態でロッドガイドホール(21)に挿入設置され、上部に形成されている接地ピン(41)は外部に露出設置されている複数のレベリングロッド(40)と、
前記レベリングロッド(40)の上端に安着されるウエハステージ(50)と、
前記ガイドブロック(20)に下側が一体として結合され、上側はウエハステージ(50)の上下を貫通して結合されている複数のガイドボルト(60)と、
前記レベリングエアショックアブソーバ(30)のピストンロッド(31)に貫通された状態でガイドブロック(20)の上端に固定設置されているリングハウジング(70)と、
前記ピストンロッド(31)に貫通された状態でリングハウジング(70)の内部に挿入され、一側に形成されている回転支持具(81)がリングハウジング(70)の内周面に形成されている支持ホール(71)に嵌められて支持されているロッキングリング(80)と、
前記ガイドブロック(20)の上端に陥没形成されているシリンダ溝24に挿入設置され、上部に形成されているピストンロッド(91)がロッキングリング(80)の底面に接地されるロッキング制御シリンダ(90)とからなることを特徴とするレベリング維持力の向上した高性能マスクアライナ用ステージレベリング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (37件)：
2H197AA05
, 2H197CD06
, 2H197CD12
, 2H197CD13
, 2H197HA03
, 5F131AA02
, 5F131AA10
, 5F131CA01
, 5F131CA07
, 5F131CA08
, 5F131CA17
, 5F131CA18
, 5F131CA32
, 5F131DA09
, 5F131DA33
, 5F131DA42
, 5F131EA02
, 5F131EA14
, 5F131EA15
, 5F131EA16
, 5F131EA22
, 5F131EA23
, 5F131EA24
, 5F131EA25
, 5F131EB32
, 5F131EB34
, 5F131EB35
, 5F131EB37
, 5F131EB38
, 5F131FA10
, 5F131FA13
, 5F131FA14
, 5F131FA17
, 5F131FA32
, 5F131FA39
, 5F131KA22
, 5F131KA54
