特許
J-GLOBAL ID：201803013660063870
蒸着装置およびこれを用いた有機発光表示装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
特許業務法人共生国際特許事務所
, 佐伯 義文
, 渡邊 隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-143344
公開番号（公開出願番号）：特開2014-077193
特許番号：特許第6239286号
出願日： 2013年07月09日
公開日（公表日）： 2014年05月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 蒸着物質を収容する蒸着源と、
前記蒸着源の一側に第1方向に配列され、対向する基板に前記蒸着物質を噴射する複数の噴射ノズルとを含み、
前記蒸着源は、前記第1方向を基準として中心領域および前記中心領域の両端の外郭領域に区分され、
前記各外郭領域に配列される第1噴射ノズルは、
その終端をなす面が前記基板の表面と前記第1方向に第1傾斜角をなしつつ、前記蒸着源の外側方向に向かうように形成され、
前記基板における前記第1方向への中心と、前記蒸着源における第1方向への中心とが一致するように、前記基板と前記蒸着源が整列され、
前記蒸着源の前記中心領域は、前記第1方向に下記の条件、
(L1:前記第1方向への前記中心領域の長さ、L2:前記第1方向への前記基板での蒸着領域の長さ、T:前記基板と前記噴射ノズルの終端との間の距離、θ:前記第1傾斜角)
を満足する長さを有することを特徴とする蒸着装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ( 200 6.01)
, H05B 33/10 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
C23C 14/24 A
, H05B 33/10
, H05B 33/14 A
