特許

J-GLOBAL ID：201803013825780998

ドラムスパッタ装置

発明者： 上田 俊輔 ,  羽場 英介
出願人/特許権者： 日立化成株式会社
代理人 (5件)： 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲 ,  平野 裕之 ,  大阪 弘一 ,  阿部 寛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-189309
公開番号（公開出願番号）：特開2014-047368
特許番号：特許第6301053号
出願日： 2012年08月29日
公開日（公表日）： 2014年03月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 粒状体が収容される真空容器と、 前記真空容器内に配置されて少なくとも一方側端面が開口された筒状のドラムと、 前記ドラム内に配置されるスパッタリングターゲットと、 前記ドラムの軸線周りに前記ドラムを回転させる回転機構と、 前記ドラムの軸線方向における一方側端部と他方側端部とが相対的に上下に入れ替わるように前記ドラムを揺動させる揺動機構と、 を有するドラムスパッタ装置。

IPC (1件)：

C23C 14/34 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C23C 14/34 T ,  C23C 14/34 J

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-153864
  
• コーティング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-250140   出願人：株式会社オムニバス
• 特開平3-153864