特許
J-GLOBAL ID：201803013871641358

検出方法および検出装置

発明者：
角間 央章

角間 央章 について

, 
坂田 健典

坂田 健典 について


出願人/特許権者：
株式会社SCREENホールディングス

株式会社SCREENホールディングス について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-189893
公開番号（公開出願番号）：特開2018-054429
出願日： 2016年09月28日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
要約：
【課題】非供給期間における液体の落下の有無を検出する技術を提供する。【解決手段】1以上のノズルのうち対象ノズルに向けての液体の供給を停止している非供給期間に、該対象ノズルの開口から液体が落下する際の落下経路を撮像視野に含めて撮像を行う撮像工程と、撮像工程における撮像結果を用いて液体の落下の有無を検出する検出工程と、が行われる。これにより、対象ノズルに向けての液体の供給を停止している非供給期間において、該対象ノズルからの液体の落下の有無を検出することができる。【選択図】図17
請求項（抜粋）：
1以上のノズルのうち対象ノズルに向けての液体の供給を停止している非供給期間に、該対象ノズルの開口から液体が落下する際の落下経路を撮像視野に含めて撮像を行う撮像工程と、 前記撮像工程における撮像結果を用いて、前記液体の落下の有無を検出する検出工程と、 を備える、検出方法。
IPC (3件)：
G01F 1/00 ,  B05C 11/08 ,  B05C 11/00
FI (3件)：
G01F1/00 U ,  B05C11/08 ,  B05C11/00
Fターム (7件)：
2F030CA02 ,  2F030CB02 ,  2F030CC01 ,  4F042AA07 ,  4F042DH09 ,  4F042EB18 ,  4F042EB19
引用特許：
審査官引用 (3件)

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