特許

J-GLOBAL ID：201803014037970863

露光装置

発明者： 村尾 幸一
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-212893
公開番号（公開出願番号）：特開2018-072589
出願日： 2016年10月31日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
要約：

【課題】 フォトマスクをセットする作業者の手間を軽減しつつ、不意の停電により真空破壊が起きてもフォトマスクの落下を防止すること。【解決手段】 フォトマスクを保持するマスクホルダと、マスクホルダ位置切替部とを備え、 マスクホルダは、本体部と、吸引保持部と、ガイド部と、ガイド位置操作部とを備え、 マスクホルダがマスク密着位置にあれば、ガイド位置操作部を操作してガイド部をマスク規制位置へ移動させ、 マスクホルダがホルダ退避位置にあれば、ガイド位置操作部を操作してガイド部をガイド退避位置に移動させることを特徴とする、露光装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

パターンが形成されたフォトマスクをワークに密着させてパターンを露光する露光装置において、 前記フォトマスクを着脱可能に保持するマスクホルダと、 前記マスクホルダを、前記フォトマスクと前記ワークとが互いに対向しつつ離間させた位置であるホルダ退避位置ないし前記フォトマスクと前記ワークとが互いに密着しあう位置であるマスク密着位置に移動させるマスクホルダ位置切替部とを備え、 前記マスクホルダは、 本体部と、 前記本体部に設けられた溝部又は孔部を負圧に吸引することで前記フォトマスクを保持する吸引保持部と、 前記本体部に対する前記フォトマスクのワーク対向面及び外周縁の位置を規制するガイド部と、 前記ガイド部を、前記フォトマスクのワーク対向面及び外周縁の位置を規制するマスク規制位置ないし、当該フォトマスクの外周縁から離間させたガイド退避位置に移動させる、ガイド位置操作部とを備え、 前記マスクホルダを前記ホルダ退避位置から前記マスク密着位置に移動させる際に、前記ガイド位置操作部を操作して前記ガイド部を前記ガイド退避位置へ移動させ、 前記マスクホルダを前記マスク密着位置からに前記ホルダ退避位置移動させる際に、前記ガイド位置操作部を操作して前記ガイド部を前記マスク規制位置に移動させる ことを特徴とする、露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ,  H05K 3/00

FI (2件)：

G03F7/20 501 ,  H05K3/00 H

Fターム (9件)：

2H197AA01 ,  2H197CD03 ,  2H197CD06 ,  2H197CD30 ,  2H197CD41 ,  2H197CD50 ,  2H197DA10 ,  2H197FB05 ,  2H197HA02