特許

J-GLOBAL ID：201803014147812600

小型流体制御装置

発明者： 廖 鴻信 ,  陳 世昌 ,  廖 家▲いく▼ ,  韓 永隆 ,  黄 ▲けい▼峰 ,  李 偉銘
出願人/特許権者： 研能科技股▲ふん▼有限公司
代理人 (1件)： 新保 斉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-000322
公開番号（公開出願番号）：特開2018-109407
出願日： 2018年01月04日
公開日（公表日）： 2018年07月12日
要約：

【課題】ポータブル或いはウェアラブルな機器や設備に適用する小型流体制御装置を提供することにある。【解決手段】本発明に係る小型流体制御装置は、積層して設置する気体導入板、共振片及び圧電アクチュエータを包括し、そのうち、気体導入板は、少なくとも一つの気体導入孔と、少なくとも一つの集約アレイと、集約チャンバを構成する円形凹部とを有しており、共振片は、中空孔を有しており、圧電アクチュエータは、懸吊板及び圧電板を有しており、そのうち、懸吊板は、円形凹部に対応する円形凸部を有し、円形凹部と円形凸部との間にある対応関係によって形成する伝送空気圧の作業特性の関係比率を変化させることで、その伝送する空気圧流量を向上し、小型流体制御装置の性能を改善している。【選択図】図4A

請求項（抜粋）：

気体導入表面及び前記気体導入表面に相対する接合表面を有し、前記気体導入表面が少なくとも一つの気体導入孔を設け、前記接合表面が円形凹部及び少なくとも一つの集約アレイをそれぞれ凹設し、前記円形凹部が第一直径を有し、前記集約アレイの一端が前記円形凹部と連通し合い、前記集約アレイのもう一端が前記少なくとも一つの気体導入孔と連通し合い、気体を前記少なくとも一つの気体導入孔から入り込ませ、前記少なくとも一つの集約アレイによって気体を前記円凹部が構成する集約チャンバに集約する気体導入板と、 前記気体導入板の前記円形凹部に対応する中空孔を有する共振片と、 懸吊板、外枠、少なくとも一つのフレーム及び圧電板を有し、前記懸吊板は、相対し合う第一表面及び第二表面を有し、前記第二表面が円形凸部を有し、前記円形凸部が前記気体導入板の前記接合表面の前記円形凹部と垂直になるように設置し、前記円形凸部が第二直径を有し、前記円形凸部の前記第二直径が前記円形凹の前記第一直径と対応し合うように形成し、且つ気体伝送空気圧の作業特性の関係比率を有し、前記外枠は、前記懸吊板の周辺に囲繞するように設置し、前記少なくとも一つのフレームは、前記懸吊板及び前記外枠の間に接続し、前記圧電板は、前記懸吊板の前記第一表面に貼着する圧電アクチュエータと、を包括し、 そのうち、上述した前記圧電アクチュエータ、前記共振片及び前記気体導入板は、順次対応して積層するように設置して定位し、且つ前記共振片及び前記圧電アクチュエータの間に有する間隙は、第一チャンバを有することで、前記圧電アクチュエータが駆動を受けると、気体は、前記気体導入板の前記少なくとも一つの気体導入孔から入り込み、前記少なくとも一つの集約アレイを介して前記円形凹部に集約され、前記共振片の前記中空孔に流れ込むことで、前記第一チャンバ内に入り込み、さらに、前記圧電アクチュエータの前記少なくとも一つのフレームの間にある空隙から下に向かって伝送されることで、気体を持続的に押出することを特徴とする、小型流体制御装置。

IPC (3件)：

F04B 45/047 ,  H01L 41/09 ,  F04B 45/04

FI (3件)：

F04B45/047 C ,  H01L41/09 ,  F04B45/04 B

Fターム (11件)：

3H077AA11 ,  3H077BB10 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077DD06 ,  3H077EE02 ,  3H077FF02 ,  3H077FF07 ,  3H077FF09 ,  3H077FF13 ,  3H077FF36