特許

J-GLOBAL ID：201803014181340629

薄膜成膜装置の異常検出装置及び薄膜成膜装置の異常検出方法

発明者： 宮原 正明
出願人/特許権者： 株式会社タムロン
代理人 (2件)： 吉村 勝博 ,  根岸 宏子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-225944
公開番号（公開出願番号）：特開2018-083958
出願日： 2016年11月21日
公開日（公表日）： 2018年05月31日
要約：

【課題】基板に対して薄膜が実際に成膜される前の段階で、薄膜成膜装置の異常の検出ができる薄膜成膜装置の異常検出装置及び薄膜装置の異常検出方法の提供。【解決手段】動作部21を動作させながら真空容器30内に設置された基板に気相成長法により薄膜を成膜する薄膜成膜装置10の異常を検出するための異常検出装置100であって、動作部21の動作に基づく所定の状態データを取得する取得部111と、当該所定の状態データに基づく特徴量と、予め設定された閾値とを対比し、薄膜成膜装置10の異常の有無を判定する判定部112とを備え、判定部112は、薄膜成膜装置10の異常の有無の判定を、薄膜成膜装置10における薄膜の成膜が開始されるまでの間に実行する薄膜成膜装置の異常検出装置100。判定部112は前記特徴量として、所定の状態データに基づくマハラノビス距離を用いる薄膜成膜装置の異常検出装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空容器と、動作部とを備え、前記動作部を動作させながら前記真空容器内に設置された基板に気相成長法により薄膜を成膜する薄膜成膜装置の異常を検出するための薄膜成膜装置の異常検出装置であって、 前記動作部の動作に基づく所定の状態データを取得する取得部と、 前記取得部により取得された前記所定の状態データに基づく特徴量と、予め設定された閾値とを対比し、前記薄膜成膜装置の異常の有無を判定する判定部と、 を備え、 前記判定部は、前記薄膜成膜装置の異常の有無の判定を、前記薄膜成膜装置における薄膜の成膜が開始されるまでの間に実行する、ことを特徴とする薄膜成膜装置の異常検出装置。

IPC (2件)：

C23C 14/54 ,  C23C 16/52

FI (2件)：

C23C14/54 F ,  C23C16/52

Fターム (5件)：

4K029CA09 ,  4K029DA03 ,  4K029EA01 ,  4K030JA01 ,  4K030KA41