特許
J-GLOBAL ID：201803014290886887
圧力センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
浅津 治司
, 吉田 新吾
, 渡辺 尚
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-227145
公開番号（公開出願番号）：特開2018-084470
出願日： 2016年11月22日
公開日（公表日）： 2018年05月31日
要約：
【課題】互いに隙間を空けて配置された複数の電極を有し、正確に測定できる圧力測定範囲を広くする圧力センサを提供する。【解決手段】圧力センサ1において、複数の個別電極31は、第2絶縁膜27の絶縁フィルム7側の主面に、共通電極9に対向して敷き詰められたように設けられている。感圧層33は、複数の個別電極31の上に積層され、第1個別スペーサ35A及び第2個別スペーサ35Bは、第2絶縁膜27の上面において複数の個別電極31の間に配置され、共通電極9に対向する。第2個別スペーサ35Bは、第1個別スペーサ35Aより高く形成されている。複数の個別電極31は、低圧力が作用するだけで共通電極9と導通する低圧用の個別電極31と、低圧力が作用するときに共通電極9と導通せずに、高圧力が作用するときに共通電極9と導通する高圧用の個別電極31とを有している。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第1絶縁基材と、
前記第1絶縁基材の主面に広がって形成された共通電極と、
前記第1絶縁基材の前記主面に対向して配置された第2絶縁基材と、
前記第2絶縁基材の前記第1絶縁基材側の主面に前記共通電極に対向して敷き詰められたように設けられた複数の個別電極と、
前記複数の個別電極及び前記共通電極の少なくとも一方の上に積層された感圧層と、
前記複数の個別電極に対応して前記第2絶縁基材の前記主面と反対側に設けられ、1又は隣接する2以上が1つの個別電極に接続される複数の薄膜トランジスタと、
前記第2絶縁基材の前記主面において前記複数の個別電極の間に配置され、前記共通電極に対向する第1個別スペーサ及び第2個別スペーサと、
を備え、
前記第2個別スペーサは、前記第1個別スペーサより高く形成されており、
前記複数の個別電極は、周囲の前記第1個別スペーサ及び前記第2個別スペーサの配置によって前記第1絶縁基材と前記第2絶縁基材が接近するように低圧力が作用するだけで前記共通電極と導通するように設定された低圧用個別電極と、周囲の前記第1個別スペーサ及び前記第2個別スペーサの配置によって前記第1絶縁基材と前記第2絶縁基材が接近するように低圧力が作用するときに前記共通電極と導通せずに高圧力が作用するときに前記共通電極と導通するように設定された高圧用個別電極とを有している、
圧力センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
2F051AA21
, 2F051AB07
, 2F051AC01
, 2F051BA07
