特許
J-GLOBAL ID:201803014588114569
ガラスハードディスク基板の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-271784
公開番号(公開出願番号):特開2015-125791
特許番号:特許第6239973号
出願日: 2013年12月27日
公開日(公表日): 2015年07月06日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ガラス基板を研磨液組成物を用いて研磨する工程1と、
工程1で得られたガラス基板を酸性洗浄剤組成物で洗浄する工程2と、
工程2で得られたガラス基板をアルカリ性洗浄剤組成物で洗浄する工程3とを有する、ガラスハードディスク基板の製造方法であって、
前記酸性洗浄剤組成物が、アクリル酸に由来の構成単位と2-アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸に由来の構成単位を含む共重合化合物(成分A)と、硫酸、硝酸及びリン酸から選ばれる1種以上の無機酸(成分B)とを含有し、更に、アルカノールアミン(成分C)が配合されたものであり、
前記酸性洗浄剤組成物のpHが、3.0以上5.0以下である、ガラスハードディスク基板の製造方法。
IPC (8件):
G11B 5/84 ( 200 6.01)
, B08B 3/08 ( 200 6.01)
, B08B 1/04 ( 200 6.01)
, C11D 3/37 ( 200 6.01)
, C11D 3/30 ( 200 6.01)
, C11D 7/32 ( 200 6.01)
, C11D 7/08 ( 200 6.01)
, C11D 3/04 ( 200 6.01)
FI (8件):
G11B 5/84 Z
, B08B 3/08 Z
, B08B 1/04
, C11D 3/37
, C11D 3/30
, C11D 7/32
, C11D 7/08
, C11D 3/04
引用特許:
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