半導体装置、および表示装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-089131
公開番号（公開出願番号）：特開2018-190753
出願日： 2017年04月28日
公開日（公表日）： 2018年11月29日
要約：

【課題】電気特性の良好な半導体装置を提供する。【解決手段】半導体装置は、半導体層108近傍の絶縁膜、具体的には、半導体層108の上方に形成される絶縁層110が、過剰酸素を含有する構成である。絶縁層110から半導体層108へ酸素または過剰酸素を移動させることで、半導体層108中の酸素欠損を低減することが可能となる。なお、半導体層108の下方に位置する絶縁層104が、過剰酸素を含有していてもよい。このとき、絶縁層104からも半導体層108へ過剰酸素を移動させることで、半導体層108の酸素欠損をより低減することが可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体層と、第1の絶縁層と、第2の絶縁層と、第1の導電層と、を有する半導体装置であって、前記第1の導電層は、前記半導体層上に位置し、前記第1の絶縁層は、前記第1の導電層と前記半導体層との間に位置し、前記第1の絶縁層と前記第1の導電層とは、上面形状が概略一致し、前記第2の絶縁層は、前記第1の絶縁層の側面、前記第1の導電層の側面の一部、及び前記半導体層の上面の一部に接して設けられ、前記半導体層は、前記第1の導電層と重なる第1の部分と、前記第1の部分を挟み、且つ前記第2の絶縁層と重なる一対の第2の部分と、前記第1の部分及び一対の前記第2の部分を挟み、且つ前記第1の絶縁層及び前記第2の絶縁層のいずれにも重ならない一対の第3の部分と、を有し、前記半導体層は、金属酸化物を含み、前記第1の絶縁層は、酸素を含み、前記第2の絶縁層は、アルミニウムまたはハフニウムと、酸素と、を含む、半導体装置。

IPC (7件)：

H01L 21/336 , H01L 29/786 , G02F 1/136 , H01L 27/32 , H01L 51/50 , H05B 33/14 , G09F 9/30

FI (14件)：

H01L29/78 617J , H01L29/78 618B , H01L29/78 616A , H01L29/78 616V , H01L29/78 617U , H01L29/78 617T , H01L29/78 617N , H01L29/78 619A , G02F1/1368 , H01L27/32 , H05B33/14 A , H05B33/14 Z , G09F9/30 338 , G09F9/30 365

Fターム (130件)：

2H192AA24 , 2H192BB12 , 2H192BC31 , 2H192BC72 , 2H192CB02 , 2H192CB08 , 2H192CB37 , 2H192CB42 , 2H192CB53 , 2H192CB56 , 2H192CB83 , 2H192CC32 , 2H192DA12 , 2H192EA22 , 2H192EA43 , 2H192EA67 , 2H192EA74 , 2H192FB03 , 2H192FB05 , 2H192FB33 , 2H192FB46 , 2H192GB33 , 2H192HA13 , 2H192HA23 , 2H192HA36 , 2H192HA70 , 2H192HA82 , 2H192HA84 , 2H192HA90 , 2H192JA06 , 2H192JA13 , 2H192JA17 , 2H192JA24 , 2H192JA25 , 2H192JA32 , 2H192JA53 , 2H192JA62 , 2H192JA64 , 3K107AA01 , 3K107AA05 , 3K107BB01 , 3K107CC41 , 3K107EE04 , 5C094AA21 , 5C094AA31 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094BA43 , 5C094DA13 , 5C094FA04 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094JA08 , 5F110AA30 , 5F110BB02 , 5F110CC01 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD04 , 5F110DD05 , 5F110DD12 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD15 , 5F110DD17 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE07 , 5F110EE08 , 5F110EE14 , 5F110EE30 , 5F110EE32 , 5F110EE44 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF04 , 5F110FF05 , 5F110FF09 , 5F110FF10 , 5F110FF27 , 5F110FF28 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110FF36 , 5F110GG01 , 5F110GG06 , 5F110GG13 , 5F110GG14 , 5F110GG15 , 5F110GG16 , 5F110GG17 , 5F110GG19 , 5F110GG24 , 5F110GG25 , 5F110GG28 , 5F110GG29 , 5F110GG33 , 5F110GG34 , 5F110GG35 , 5F110GG43 , 5F110GG58 , 5F110HJ01 , 5F110HJ06 , 5F110HJ12 , 5F110HJ13 , 5F110HJ16 , 5F110HJ30 , 5F110HL01 , 5F110HL02 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL06 , 5F110HL07 , 5F110HL08 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN22 , 5F110NN24 , 5F110NN34 , 5F110NN35 , 5F110NN40 , 5F110NN73 , 5F110QQ09 , 5F110QQ11 , 5F110QQ16

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