特許
J-GLOBAL ID：201803014805707760
ビーム位置センサを有する走査ヘッドおよび調整装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田・鈴木国際特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-566141
公開番号（公開出願番号）：特表2018-525227
出願日： 2016年06月03日
公開日（公表日）： 2018年09月06日
要約：
【課題】レーザビームの伝播方向において走査ヘッドの上流に配置された構成要素に影響を与えることなく、オフラインで高効率および/または高精度にビームの調整を行うことができる走査ヘッド、調整装置および調整方法を提供すること。【解決手段】集束光学系(15)と、レーザビーム(9)の伝播方向において前記集束光学系(15)の上流に配置され、前記レーザビーム(9)の位置を制御するビーム位置決めシステム(3)と、前記レーザビーム(9)の伝播方向において前記ビーム位置決めシステム(3)の下流に配置されたビーム位置センサ(4)とを有し、前記ビーム位置決めシステム(3)は、加工面(13)への前記レーザビーム(9)の入射角を調整可能であり、前記レーザビーム(9)の前記加工面(13)における加工位置(12)を前記加工面(13)内で2次元移動可能に構成された少なくとも2つの制御可能な可動光学素子を備え、前記ビーム位置センサ(4)は、前記レーザビーム(9)の少なくとも4つの独立した位置パラメータを検出し、および/または、前記位置パラメータから前記レーザビーム(9)の実位置(19)を検出することを特徴とするレーザ材料加工用走査ヘッド(2)。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
集束光学系(15)と、
レーザビーム(9)の伝播方向において前記集束光学系(15)の上流に配置され、前記レーザビーム(9)の位置を制御するビーム位置決めシステム(3)と、
前記レーザビーム(9)の伝播方向において前記ビーム位置決めシステム(3)の下流に配置されたビーム位置センサ(4)とを有し、
前記ビーム位置決めシステム(3)は、加工面(13)への前記レーザビーム(9)の入射角を調整可能であり、前記レーザビーム(9)の前記加工面(13)における加工位置(12)を前記加工面(13)内で2次元移動可能に構成された少なくとも2つの制御可能な可動光学素子を備え、
前記ビーム位置センサ(4)は、前記レーザビーム(9)の少なくとも4つの独立した位置パラメータを検出し、および/または、前記位置パラメータから前記レーザビーム(9)の実位置(19)を検出することを特徴とするレーザ材料加工用走査ヘッド(2)。
IPC (5件)：
B23K 26/064
, B23K 26/00
, B23K 26/082
, B23K 26/046
, G02B 26/10
B23K26/064 A
, B23K26/00 M
, B23K26/082
, B23K26/046
, G02B26/10 104Z
2H045AB54
, 2H045BA02
, 2H045CA81
, 4E168CA02
, 4E168CA06
, 4E168CA13
, 4E168CB04
, 4E168CB12
, 4E168CB18
, 4E168EA15
, 4E168KB05
