特許

J-GLOBAL ID：201803014855884433

基板位置決め装置

発明者： 武田 直也
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (2件)： 三好 秀和 ,  伊藤 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-230853
公開番号（公開出願番号）：特開2018-088477
出願日： 2016年11月29日
公開日（公表日）： 2018年06月07日
要約：

【課題】所定の位置に基板を正確に位置決めし、且つ基板を位置決めするために基板の周囲に必要なスペースの増大を抑制できる基板位置決め装置を提供する。【解決手段】基板100の搬送される搬送方向に沿って所定の領域を挟んで配置された一対の第1の接触パッド11と、搬送方向に平行な方向から基板100の側面に接触する接触位置と搬送路20を搬送中の基板100と接触しない待機位置との間で、第1の接触パッド11が搬送路20に搭載された基板100の側面と対向する領域の面積が徐々に変化するように、第1の接触パッド11を移動させる第1の移動装置12とを備え、基板100が所定の領域に搬送されたタイミングで、第1の移動装置12が接触位置に第1の接触パッド11を移動させ、一対の第1の接触パッド11によって搬送方向に沿って前後から基板100を挟み込み、基板100を所定の位置に位置決めする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

搬送路を搬送される基板を所定の位置に位置決めする基板位置決め装置であって、 前記基板の搬送される搬送方向に沿って所定の領域を挟んで配置された一対の第1の接触パッドと、 前記搬送方向に平行な方向から前記基板の側面に接触する接触位置と、前記搬送路を搬送中の前記基板と接触しない待機位置との間で、前記第1の接触パッドが前記搬送路に搭載された前記基板の前記側面と対向する領域の面積が徐々に変化するように、前記第1の接触パッドを移動させる第1の移動装置と を備え、 前記基板が前記所定の領域に搬送されたタイミングで、前記第1の移動装置が前記接触位置に前記第1の接触パッドを移動させ、一対の前記第1の接触パッドによって前記搬送方向に沿って前後から前記基板を挟み込み、前記基板を前記所定の位置に位置決めすることを特徴とする基板位置決め装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/677 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L21/68 G ,  H01L21/68 A ,  B65G49/07 A

Fターム (17件)：

5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA12 ,  5F131AA34 ,  5F131BA01 ,  5F131BA17 ,  5F131CA18 ,  5F131CA39 ,  5F131DA02 ,  5F131DA05 ,  5F131DB45 ,  5F131DC23 ,  5F131FA13 ,  5F131FA32 ,  5F131FA33 ,  5F131GA05 ,  5F131GA26