特許
J-GLOBAL ID：201803014889364722
成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-151444
公開番号（公開出願番号）：特開2018-021218
出願日： 2016年08月01日
公開日（公表日）： 2018年02月08日
要約：
【課題】燃料電池のセパレータ用の基材の両面に原料ガスを均一に噴射する噴射装置を備えた成膜装置の提供。【解決手段】燃料電池のセパレータ用の基材の表面及び裏面に薄膜をプラズマ成膜する成膜装置において、薄膜の構成元素を含む原料ガスを基材の表面及び裏面に噴射する噴射装置は、基材の表面に向けて原料ガスを噴射する複数のノズル孔55a,55bを有するガス流路51を備えており、複数のノズル孔55a,55bのうちガス流路51の上流側に配置されているノズル孔55aの孔径よりも、ガス流路51の下流側に配置されているノズル孔55bの孔径の方が小さい成膜装置。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
燃料電池のセパレータ用の基材の表面及び裏面に薄膜をプラズマ成膜する成膜装置であって、
前記薄膜の構成元素を含む原料ガスを前記基材の表面及び裏面に噴射する噴射装置を備え、
前記噴射装置は、
前記基材の表面に向けて前記原料ガスを噴射する複数の第1のノズル孔を有する第1のガス流路と、
前記基材の裏面に向けて前記原料ガスを噴射する複数の第2のノズル孔を有する第2のガス流路と、を備え、
前記複数の第1のノズル孔のうち前記第1のガス流路の上流側に配置されている第1のノズル孔の孔径よりも、前記第1のガス流路の下流側に配置されている第1のノズル孔の孔径の方が小さく、
前記複数の第2のノズル孔のうち前記第2のガス流路の上流側に配置されている第2のノズル孔の孔径よりも、前記第2のガス流路の下流側に配置されている第2のノズル孔の孔径の方が小さい、成膜装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
4K030AA09
, 4K030BA28
, 4K030BB11
, 4K030DA02
, 4K030EA05
, 4K030EA06
, 4K030FA01
, 4K030GA12
, 4K030LA11
, 5H026BB04
, 5H026CC03
, 5H126AA12
, 5H126EE03
, 5H126HH04
