特許
J-GLOBAL ID:201803014948828495
カラーフィルタ及び着色材含有感光性組成物、並びに固体撮像素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-222456
公開番号(公開出願番号):特開2018-081171
出願日: 2016年11月15日
公開日(公表日): 2018年05月24日
要約:
【課題】現像後のパターンの断面形状の矩形性が良好となる着色材含有感光性組成物およびそれを用いたカラーフィルタ、固体撮像素子を提供する。【解決手段】基板上に着色感光性組成物からなるパターンが形成され、前記パターンの断面形状が矩形に近い形状であるカラーフィルタ。また、着色材と、分散剤と、ポリマーと、光重合開始剤と、光重合性モノマーと、溶媒とを含み、光重合性モノマーは分子量が1000以下であり、ポリマーは分子量7000〜20000であり、光重合性モノマーのポリマーに対する重量比率が0.2〜0.4の範囲にある着色材含有感光性組成物。【選択図】図3
請求項(抜粋):
基板上に着色感光性組成物からなるパターンが形成されたカラーフィルタであって、
前記パターンの断面形状が、矩形もしくは台形に近似した形状であり、かつ基板に接しない側の角部は丸みがあり、
前記断面形状の基板からの最大高さhに対して90%の高さで基板に平行な線を引いたときに、この平行線が前記断面形状の輪郭線と交わる2点をそれぞれa1、a2とし、
前記最大高さhに対して50%の高さで基板に平行な線を引いたときに、この平行線が前記断面形状の輪郭線と交わる2点をそれぞれb1、b2とし、
基板と前記断面形状の輪郭線とが交わる2点をそれぞれc1、c2とし、
前記点a1、a2、b2、b1を結んで囲まれる四角形の面積をS1とし、
前記点b1、b2、c2、c1を結んで囲まれる四角形の面積をS2とし、
前記点c1、c2を結ぶ線分を底辺Lとし、
最大高さh×底辺Lで表される長方形の面積をSとしたとき、
(S1+S2)/Sで表される比が0.75以上1.0以下であることを特徴とするカラーフィルタ。
IPC (4件):
G02B 5/20
, G03F 7/004
, G03F 7/027
, H01L 27/14
FI (5件):
G02B5/20 101
, G03F7/004 505
, G03F7/027 502
, G03F7/027 515
, H01L27/14 D
Fターム (72件):
2H148BE02
, 2H148BE13
, 2H148BE18
, 2H148BE23
, 2H148BE32
, 2H148BF02
, 2H148BF12
, 2H148BF15
, 2H148BF16
, 2H148BG11
, 2H148BH05
, 2H148BH26
, 2H225AC36
, 2H225AC43
, 2H225AC44
, 2H225AC45
, 2H225AD06
, 2H225AM22P
, 2H225AN39P
, 2H225AN94P
, 2H225AN96P
, 2H225BA16P
, 2H225BA35P
, 2H225CA17
, 2H225CB06
, 2H225CC01
, 2H225CC13
, 4J002AA00W
, 4J002AA01W
, 4J002AA02W
, 4J002AB01W
, 4J002AC00W
, 4J002AC03W
, 4J002BB03W
, 4J002BB24W
, 4J002BC03W
, 4J002BC07W
, 4J002BD04W
, 4J002BD05W
, 4J002BE06W
, 4J002BF02W
, 4J002BG01X
, 4J002BG01Y
, 4J002BG02W
, 4J002BG02Y
, 4J002BQ00W
, 4J002CC03W
, 4J002CC18W
, 4J002CD00W
, 4J002CF00W
, 4J002CF21W
, 4J002CH02X
, 4J002CK02W
, 4J002CL00W
, 4J002CP03X
, 4J002EE037
, 4J002EU187
, 4J002EV256
, 4J002FD147
, 4J002FD316
, 4J002FD31X
, 4J002GP03
, 4J002HA03
, 4M118AA01
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA01
, 4M118FA06
, 4M118GC08
, 4M118GC14
, 4M118GD04
引用特許:
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