特許
J-GLOBAL ID：201803015124340961

吐出装置、インプリント装置、検出方法、判定方法及び物品の製造方法

発明者：
首藤 伸一

首藤 伸一 について

, 
藤田 雄一

藤田 雄一 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-126969
公開番号（公開出願番号）：特開2018-006387
出願日： 2016年06月27日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：
【課題】 揮発性の化合物を含む液体の吐出を検出するにあたり、検出に用いる光を投光する手段の配置制約をより生じにくくすることができる。【解決手段】 本発明は、吐出口12から揮発性の化合物を含む液体を吐出する吐出手段13と、吐出口12から前記液体が吐出されたときに前記液体から揮発した揮発成分を、光を用いて検出することにより、前記液体の吐出を検出する検出手段60と、を有することを特徴とする【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
吐出口から揮発性の化合物を含む液体を吐出する吐出手段と、 前記吐出口から前記液体が吐出されたときに前記液体から揮発した揮発成分を、光を用いて検出することにより、前記液体の吐出を検出する検出手段と、を有することを特徴とする吐出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  B05C 5/00 ,  B05C 11/00
FI (3件)：
H01L21/30 502D ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/00
Fターム (10件)：
4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041BA01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA51 ,  4F042AA06 ,  4F042DH09 ,  5F146AA31 ,  5F146DB14
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM