特許
J-GLOBAL ID：201803015163682730
倒立型光学顕微鏡と原子間力顕微鏡を有する複合型顕微鏡による観察方法、観察方法を実行するプログラム及び複合型顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
蔵田 昌俊
, 野河 信久
, 河野 直樹
, 井上 正
, 鵜飼 健
, 飯野 茂
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016055889
公開番号（公開出願番号）：WO2017-145381
出願日： 2016年02月26日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
要約：
倒立型光学顕微鏡と原子間力顕微鏡の複合型顕微鏡による観察方法は、カンチレバーをZ軸に沿って走査させて、試料表層情報が取得できるまで探針を試料表層に近づける接近工程(50)と、倒立型光学顕微鏡を通してカンチレバーを観察し、少なくともカンチレバーの形状情報を取得するカンチレバー観察工程(51)と、倒立型光学顕微鏡の観察位置を、少なくとも探針の長さに基づいて、Z軸に沿って下方に向けて移動させる観察位置移動工程(52)と、倒立型光学顕微鏡を通して蛍光観察を行う蛍光観察工程(53)と、カンチレバーを少なくともZ軸に沿って走査させて試料表層情報を取得する試料表層情報取得工程(54)を有する。接近工程とカンチレバー観察工程と観察位置移動工程は順に行う。蛍光観察工程は観察位置移動工程の後に行う。試料表層情報取得工程は、接近工程(50)の後に行う。
請求項（抜粋）：
試料下方から少なくとも蛍光観察を行う倒立型光学顕微鏡と、試料上方から試料表層情報を取得する原子間力顕微鏡とを有する複合型顕微鏡による観察方法であって、
前記複合型顕微鏡は、上下方向に延びるZ軸を有しており、
前記倒立型光学顕微鏡は、試料を保持した透明な基板が載置されるステージと、前記ステージの下方に配置された対物レンズと、Z軸に沿って前記対物レンズを駆動する対物レンズ駆動アクチュエータを備えており、
前記原子間力顕微鏡は、前記ステージの上方に配置される探針を自由端に備えたカンチレバーと、前記カンチレバーをZ軸に沿って走査させるZ走査アクチュエータを備えており、
前記観察方法は、
前記カンチレバーをZ軸に沿って走査させて、試料表層情報が取得できるまで前記探針を試料表層に近づける接近工程と、
前記倒立型光学顕微鏡を通して前記カンチレバーを観察し、少なくとも前記カンチレバーの形状情報を取得するカンチレバー観察工程と、
前記倒立型光学顕微鏡の観察位置を、少なくとも前記探針の長さに基づいて、Z軸に沿って下方に向けて移動させる観察位置移動工程と、
前記倒立型光学顕微鏡を通して蛍光観察を行う蛍光観察工程と、
前記カンチレバーを少なくともZ軸に沿って走査させて試料表層情報を取得する試料表層情報取得工程を有しており、
前記接近工程と前記カンチレバー観察工程と前記観察位置移動工程は順に行い、
前記蛍光観察工程は前記観察位置移動工程の後に行い、
前記試料表層情報取得工程は、前記接近工程の後に行う複合型顕微鏡による観察方法。
IPC (5件)：
G01Q 30/02
, G01Q 20/02
, G01Q 10/04
, G01Q 60/24
, G02B 21/00
G01Q30/02
, G01Q20/02
, G01Q10/04
, G01Q60/24
, G02B21/00
2H052AA08
, 2H052AA09
, 2H052AB01
, 2H052AC04
, 2H052AD03
, 2H052AD06
, 2H052AD20
, 2H052AD34
, 2H052AF02
, 2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF25
