特許

J-GLOBAL ID：201803015167577426

エキシマ光照射装置

発明者： 中村 勝
出願人/特許権者： タツモ株式会社 ,  株式会社クォークテクノロジー
代理人 (1件)： 特許業務法人 楓国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-201056
公開番号（公開出願番号）：特開2018-061931
出願日： 2016年10月12日
公開日（公表日）： 2018年04月19日
要約：

【課題】放電器内における放電用ガス及び放電器自身の過度な温度上昇を抑制することが可能なエキシマ光照射装置を提供する。【解決手段】エキシマ光照射装置は、放電器2と、冷却部6と、を備える。放電器2は、放電によってエキシマ光を生じる放電器であって、エキシマ光が照射される照射対象と対向する窓面2aと、当該窓面2aとは反対側に位置する背面2bと、を外周面の一部として有する。そして、冷却部6は、放電器2を背面2b側から冷却する。一例として、冷却部6は、放電器2の背面2b上方に位置すると共に当該背面2bに向けて冷却ガスを噴き出す噴射口62を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

放電によってエキシマ光を生じる放電器であって、前記エキシマ光が照射される照射対象と対向する窓面と、当該窓面とは反対側に位置する背面と、を外周面の一部として有する放電器と、 前記放電器を前記背面側から冷却する冷却部と、 を備える、エキシマ光照射装置。

IPC (4件)：

B01J 19/12 ,  H01L 21/304 ,  H01J 65/00 ,  H01J 61/52

FI (4件)：

B01J19/12 C ,  H01L21/304 645D ,  H01J65/00 B ,  H01J61/52 N

Fターム (16件)：

4G075AA03 ,  4G075AA07 ,  4G075AA13 ,  4G075AA15 ,  4G075AA30 ,  4G075AA37 ,  4G075BA04 ,  4G075CA33 ,  4G075DA02 ,  4G075EB31 ,  4G075FA05 ,  4G075FA12 ,  4G075FB01 ,  4G075FB02 ,  5F157BG43 ,  5F157BG48