特許
J-GLOBAL ID：201803015387483015
切削装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-217282
公開番号（公開出願番号）：特開2018-078145
出願日： 2016年11月07日
公開日（公表日）： 2018年05月17日
要約：
【課題】カーフチェックにかかる所要時間が長くなることを抑制しつつも正確に加工溝を検出することができる切削装置を提供すること。【解決手段】切削装置1は、被加工物Wを保持するチャックテーブル10と、被加工物Wに加工溝を形成する切削ユニット20と、被加工物Wを撮像する撮像ユニット30と、各構成要素を制御する制御ユニット60と、を備える。制御ユニット60は、被加工物Wに形成されたキーパターンと、キーパターンと形成する加工溝との距離とを登録する加工条件登録部61と、切削ユニット20で加工溝を形成した被加工物Wを用い加工溝の検出に適した撮像すべき撮像位置情報を登録する撮像位置登録部62と、撮像ユニット30で撮像された加工溝のキーパターンとの距離又は欠けを判定する判定部63とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工溝を形成する加工ユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、表面に形成された複数の分割予定ラインによって区画された領域にデバイスを備える被加工物に該分割予定ラインに沿って加工溝を形成する切削装置であって、
該制御ユニットは、
該被加工物に形成されたキーパターンと、該キーパターンと形成する該加工溝との距離とを登録する加工条件登録部と、
該加工ユニットで該加工溝を形成した被加工物を用い、該加工溝の検出に適した撮像すべき撮像位置情報を登録する撮像位置登録部と、
該撮像ユニットで撮像された該加工溝の該キーパターンとの距離又は欠けを判定する判定部と、を備える切削装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/78 P
, B24B27/06 M
3C158AA03
, 3C158AA18
, 3C158AC02
, 3C158BA01
, 3C158BC03
, 3C158CA04
, 3C158CB02
, 3C158CB03
, 3C158DA17
, 5F063AA37
, 5F063AA48
, 5F063BA25
, 5F063BA43
, 5F063BA47
, 5F063BA48
, 5F063DD06
, 5F063DE19
, 5F063DE33
