特許
J-GLOBAL ID：201803015513747740

照度調整フィルタの製造方法、照度調整フィルタ、照明光学系、及び露光装置

発明者：
川島 洋徳

川島 洋徳 について


出願人/特許権者：
株式会社ブイ・テクノロジー

株式会社ブイ・テクノロジー について


代理人 (1件)： 特許業務法人栄光特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-127613
公開番号（公開出願番号）：特開2018-004742
出願日： 2016年06月28日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：
【課題】照明光学系の構成要素に起因する露光面での照度分布のばらつきを抑制することができる照度調整フィルタの製造方法、照度調整フィルタ、照明光学系、及び露光装置を提供する。【解決手段】光路EL内に光学フィルタ90を配置しない状態で露光面上における任意の点i(iは、整数)の照度I(i)を測定し、測定された各点の照度I(i)に基づいて、各セル91の光透過率分布を算出した後、算出された光透過率分布に対応するパターン93をそれぞれ備えたセル91を含む光学フィルタ90を形成する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
光源からの光が、p行、q列(p,qは、整数)のマトリックス状に配列された複数のレンズ素子を有するフライアイレンズと、前記フライアイレンズから出射する前記光を反射する反射鏡と、を有する光路を介して照射される露光面における照度分布を均一化するため、前記光路内に配置され、前記複数のレンズ素子のそれぞれに対応するp行、q列の照度調整部を備える照度調整フィルタの製造方法であって、 前記光路内に、前記照度調整フィルタを配置しない状態で、前記露光面上における任意の点i(iは、整数)の照度I(i)を測定する工程と、 前記露光面上において測定された前記各点の照度I(i)に基づいて、前記各照度調整部の光透過率分布を算出する工程と、 該算出された光透過率分布に対応するパターンをそれぞれ備えた前記照度調整部を含む前記照度調整フィルタを形成する工程と、 を備えることを特徴とする照度調整フィルタの製造方法。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ,  G02B 21/06
FI (2件)：
G03F7/20 501 ,  G02B21/06
Fターム (11件)：
2H052AC07 ,  2H052AC25 ,  2H052AC27 ,  2H197BA02 ,  2H197BA05 ,  2H197BA10 ,  2H197CA03 ,  2H197CA05 ,  2H197CB12 ,  2H197DB06 ,  2H197DC02
引用特許：
審査官引用 (9件)
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