特許

J-GLOBAL ID：201803015550292680

インプリント装置及び物品の製造方法

発明者： 山本 健司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  大塚 康弘 ,  高柳 司郎 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-126734
公開番号（公開出願番号）：特開2018-006379
出願日： 2016年06月27日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：

【課題】モールドや基板のデチャックの発生を抑制して生産性の点で有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】モールドを用いて基板上のインプリント材にパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、前記モールドを保持するモールド保持部と、前記基板を保持する基板保持部と、前記モールドと前記インプリント材との接触状態に関する情報を取得する取得する取得部と、前記基板上のインプリント材から前記モールドを引き離す動作を制御する制御部と、を有し、前記制御部は、前記取得部で取得された前記情報に基づいて、前記引き離す動作を行う際に前記モールド保持部からの前記モールドの脱離又は前記基板保持部からの前記基板の脱離を含むエラーが発生するかを予測し、前記エラーが発生すると予測した場合に、前記引き離す動作を前記エラーの発生を抑制するための引き離す動作に変更することを特徴とするインプリント装置を提供する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

モールドを用いて基板上のインプリント材にパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、 前記モールドを保持するモールド保持部と、 前記基板を保持する基板保持部と、 前記モールドと前記インプリント材との接触状態に関する情報を取得する取得する取得部と、 前記基板上のインプリント材から前記モールドを引き離す動作を制御する制御部と、を有し、 前記制御部は、 前記取得部で取得された前記情報に基づいて、前記引き離す動作を行う際に前記モールド保持部からの前記モールドの脱離又は前記基板保持部からの前記基板の脱離を含むエラーが発生するかを予測し、 前記エラーが発生すると予測した場合に、前記引き離す動作を前記エラーの発生を抑制するための引き離す動作に変更することを特徴とするインプリント装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B29C 59/02 ,  G11B 5/84

FI (3件)：

H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z ,  G11B5/84 Z

Fターム (19件)：

4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AP20 ,  4F209AR20 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5D112AA02 ,  5D112AA05 ,  5D112AA24 ,  5D112BA10 ,  5D112GA00 ,  5F146AA31 ,  5F146AA34