特許

J-GLOBAL ID：201803015828251131

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 中村 惟允
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人平和国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016000617
公開番号（公開出願番号）：WO2017-134700
出願日： 2016年02月05日
公開日（公表日）： 2017年08月10日
要約：

(a)ポリベンゾオキサゾール前駆体と、(b)架橋剤と、(c)感光剤と、(d)溶剤とを含有し、前記(a)成分が下記式(1)で表される構造単位を含み、前記(b)成分が下記式(2)で表される化合物であるポジ型感光性樹脂組成物。式(1)中、Uは2価の有機基、単結合、-O-又は-SO2-であり、Vは脂肪族構造を含む基であり、前記脂肪族構造の炭素数は1〜30である。式(2)中、R1は、各々独立に、水素原子又は-CH2-O-R2で表される基である。複数のR1の少なくとも1つは-CH2-O-R2で表される基である。R2は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基である。

請求項（抜粋）：

(a)ポリベンゾオキサゾール前駆体と、(b)架橋剤と、(c)感光剤と、(d)溶剤とを含有し、 前記(a)成分が下記式(1)で表される構造単位を含み、前記(b)成分が下記式(2)で表される化合物であるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/023 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

G03F7/023 ,  G03F7/20 521

Fターム (18件)：

2H197AA05 ,  2H197AA09 ,  2H197CA02 ,  2H197CA03 ,  2H197CE10 ,  2H197HA02 ,  2H197HA03 ,  2H225AE03P ,  2H225AE04P ,  2H225AF05P ,  2H225AM75P ,  2H225AM99P ,  2H225AN54P ,  2H225AN84P ,  2H225CA11 ,  2H225CB02 ,  2H225CC03 ,  2H225CC21