特許
J-GLOBAL ID:201803015898111094

プロセス液の初期廃棄量の削減方法及びプロセス液の処理システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 栗原 浩之 ,  山▲崎▼ 雄一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-225432
公開番号(公開出願番号):特開2018-079457
出願日: 2016年11月18日
公開日(公表日): 2018年05月24日
要約:
【課題】フィルタに含浸した水やフィルタ装置に残留した液体とともに廃棄されるプロセス液を削減することができる、プロセス液の初期廃棄量の削減方法及びプロセス液の処理システムを提供する。【解決手段】製造用配管30に設けられたフィルタ装置10に残留した液体とともに廃棄されるプロセス液の初期廃棄量の削減方法であって、プロセス液をフィルタ装置10で濾過させる前に、フィルタ装置10のフィルタ12を水で湿潤させ、フィルタ12の一次側における圧力の変化に基づいたフィルタ12の完全性試験を実施し、加熱した無菌空気によりフィルタ装置10を乾燥させる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
製造用配管に設けられたフィルタ装置に残留した液体とともに廃棄されるプロセス液の初期廃棄量の削減方法であって、 前記プロセス液を前記フィルタ装置で濾過させる前に、 前記フィルタ装置のフィルタを液体で湿潤させ、前記フィルタの一次側における圧力の変化に基づいた前記フィルタの完全性試験を実施し、 加熱した無菌空気により前記フィルタ装置を乾燥させる ことを特徴とするプロセス液の初期廃棄量の削減方法。
IPC (7件):
B01D 35/02 ,  B01D 24/00 ,  B01D 29/00 ,  B01D 29/11 ,  G01M 3/26 ,  B01D 65/10 ,  F17D 5/02
FI (9件):
B01D35/02 A ,  B01D29/00 D ,  B01D29/00 E ,  B01D29/10 510C ,  B01D29/10 520Z ,  B01D29/10 530A ,  G01M3/26 M ,  B01D65/10 ,  F17D5/02
Fターム (19件):
2G067AA15 ,  2G067BB04 ,  2G067BB25 ,  2G067CC01 ,  2G067DD02 ,  3J071AA11 ,  3J071BB14 ,  3J071BB15 ,  3J071DD36 ,  3J071EE09 ,  3J071EE24 ,  3J071FF16 ,  4D006GA02 ,  4D006KC01 ,  4D006LA03 ,  4D006MA01 ,  4D064AA01 ,  4D064BA02 ,  4D064BA34
引用特許:
審査官引用 (3件)

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