特許
J-GLOBAL ID:201803016058451249
真空ポンプロータ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
河野 英仁
, 河野 登夫
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-556803
公開番号(公開出願番号):特表2018-517090
出願日: 2016年05月25日
公開日(公表日): 2018年06月28日
要約:
【解決手段】本発明は、ロータ軸に連結するため、又はロータ軸を形成するためにハブ要素(10)を有している真空ポンプロータ、特にターボ分子ポンプのための真空ポンプロータに関する。複数の動翼(12)がハブ要素(10)に連結されている。高い先端速度に達し得る真空ポンプロータを形成するために、ハブ要素(10)及び/又は動翼(12)は複数の材料層から形成されている。
請求項(抜粋):
特にターボ分子ポンプのための真空ポンプロータであって、
ロータ軸に連結するため、及び/又はロータ軸を形成するためのハブ要素(10)と、
前記ハブ要素(10)に連結されている複数の動翼(12)と
を備えており、
前記ハブ要素(10)及び/又は前記動翼(12)は複数の材料層を有していることを特徴とする真空ポンプロータ。
IPC (2件):
FI (2件):
F04D19/04 D
, F04D29/32 C
Fターム (17件):
3H130AA12
, 3H130AB28
, 3H130AB52
, 3H130AC01
, 3H130BA22C
, 3H130BA23C
, 3H130CB01
, 3H130CB06
, 3H130CB19
, 3H130EA02C
, 3H130EA07C
, 3H130EC15C
, 3H131AA02
, 3H131BA06
, 3H131BA09
, 3H131CA01
, 3H131CA34
引用特許:
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