特許
J-GLOBAL ID:201803016344683513

収差補正およびイオンダメージ軽減のためのイメージインテンシファイア管設計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-072488
公開番号(公開出願番号):特開2018-107147
出願日: 2018年04月04日
公開日(公表日): 2018年07月05日
要約:
【課題】本開示は、像面歪曲収差補正およびイオンダメージ軽減のためのイメージインテンシファイア管設計に関する。【解決手段】いくつかの実施形態において、フォトカソードからシンチレーティングスクリーンへの加速経路を定める電極は、加速経路の少なくとも一部に沿ってオフアクシス電子に関してより高い加速度を提供するように構成される。その結果、オフアクシス電子およびオンアクシス電子はほぼ均一にシンチレーティングスクリーンに集束し、像面歪曲収差を防止または軽減する。いくつかの実施形態において、電極は、シンチレーティングスクリーンによって放出または偏向された二次電子がフォトカソードに向かって流れ、ダメージを与えるイオンを形成することを防止するために、シンチレーティングスクリーン付近に反発電界を生じるように構成される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
入射照明に反応して電子を放出するように構成されたフォトカソードと、 加速経路を介して前記フォトカソードから受け取った前記放出電子の少なくとも一部を含む入射電子に反応して照明を射出するように構成されたシンチレーティングスクリーンと、 前記加速経路に沿って前記放出電子を加速させるように構成され、前記加速経路に沿って配置された複数の電極と、 を備え、 前記複数の電極は更に、少なくとも、前記放出電子の少なくとも1つのオフアクシス部分が通過している前記加速経路の第1の部分に沿った第1の加速電界と、前記放出電子の少なくとも1つのオンアクシス部分が通過している前記加速経路の第2の部分に沿った第2の加速電界と、を生じるように構成され、 前記第1の加速電界は前記第2の加速電界よりも強力である、 イメージインテンシファイア管。
IPC (1件):
H01J 31/50
FI (1件):
H01J31/50 D
Fターム (7件):
5C037GG06 ,  5C037GH05 ,  5C037GH08 ,  5C037GH10 ,  5C037GH14 ,  5C037GH20 ,  5C037GJ07
引用特許:
審査官引用 (3件)

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