特許

J-GLOBAL ID：201803016557392083

基板搬送ロボットおよびその運転方法

発明者： 吉 田 雅 也 ,  山 口 隆 生 ,  田 中 佑 治 ,  中 原 一 ,  アビッシュ アショック バルワニ ,  ミン ツェン ,  フイ クエン チェン
出願人/特許権者： 川崎重工業株式会社 ,  カワサキロボティクス(ユーエスエー)インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 名塚 聡
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016087015
公開番号（公開出願番号）：WO2017-104648
出願日： 2016年12月13日
公開日（公表日）： 2017年06月22日
要約：

基板搬送ロボット(1)は、ロボットアーム(4)に設けられ、基板(S)を保持する基板保持手段(13)を有するエンドエフェクタ(7)と、ロボットアーム(4)を駆動するアーム駆動手段(9,10,11)と、アーム駆動手段を制御するロボット制御手段(12)と、基板保持手段による基板保持力を検出する保持力検出手段(33)と、を備える。ロボット制御手段(12)は、保持力検出手段(33)により検出された基板保持力に応じて決定されるエンドエフェクタ(7)の加速度および速度の少なくとも一方の上限値に基づいてアーム駆動手段(9,10,11)を制御する。エンドエフェクタにおける基板の保持力が低下した場合でも、基板の位置ずれの有無にかかわらず、基板搬送動作を継続しつつ、基板の位置ずれや落下を確実に防止できる。

請求項（抜粋）：

ロボットアームと、 前記ロボットアームに設けられ、基板を保持するための基板保持手段を有するエンドエフェクタと、 前記ロボットアームを駆動するためのアーム駆動手段と、 前記アーム駆動手段を制御するためのロボット制御手段と、 前記基板保持手段による基板保持力を検出するための保持力検出手段と、を備え、 前記ロボット制御手段は、前記保持力検出手段により検出された前記基板保持力に応じて決定される前記エンドエフェクタの加速度および速度の少なくとも一方の上限値に基づいて前記アーム駆動手段を制御するように構成されている、基板搬送ロボット。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  B25J 13/00

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  B25J13/00 Z

Fターム (25件)：

3C707AS24 ,  3C707BS15 ,  3C707FS01 ,  3C707KS30 ,  3C707KX07 ,  3C707NS13 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131CA07 ,  5F131CA09 ,  5F131CA18 ,  5F131DA32 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB15 ,  5F131DB22 ,  5F131DB52 ,  5F131DD03 ,  5F131DD43 ,  5F131DD78 ,  5F131KA22 ,  5F131KA52 ,  5F131KB43 ,  5F131KB58