特許
J-GLOBAL ID：201803016563718519
研磨パッド運搬用ボックス、研磨パッド収容部材及び研磨パッドの運搬方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
辻居 幸一
, 熊倉 禎男
, 弟子丸 健
, 松下 満
, 倉澤 伊知郎
, 丹澤 一成
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-198309
公開番号（公開出願番号）：特開2015-062975
特許番号：特許第6221172号
出願日： 2013年09月25日
公開日（公表日）： 2015年04月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 研磨パッド運搬用ボックスであって、
収納箱と、
該収納箱内で、研磨パッド収容部材に収容された研磨パッドを吊下げ状態で保持する吊下げ手段と、を有し、前記吊下げ手段は、略水平に配置された棒状部材を有している、研磨パッド運搬用ボックス。
IPC (2件)：
B24B 37/00 ( 201 2.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
B24B 37/00 Z
, H01L 21/304 621 Z
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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