特許
J-GLOBAL ID：201803016576949196
オフセットマニホールドを備えた内部パージディフューザ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田・小林特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-511679
公開番号（公開出願番号）：特表2018-527752
出願日： 2016年09月02日
公開日（公表日）： 2018年09月20日
要約：
基板容器用のパージタワーアセンブリ。アセンブリは、基板容器の底部プレートに取り付けるための、基部部分および上部部分を含むパージインターフェース本体を含むことができる。基部部分は実質的に管状の基部側壁を含むことができ、上部部分は基部部分の上端部に位置する上部側壁を有することができる。上部部分は、底部プレートの後方入口を介して取り付けるための入口ノズルを含むことができる。入口ノズルは、上部側壁から上方に延在し、かつ入口ノズルの内部を画定する実質的に管状の側壁を有することができる。基部部分および上部側壁は、基部部分および入口ノズルに接続されて配置されたオフセット導管部分を画定することができ、基部部分および入口ノズルはオフセット導管部分を介して流体連通する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板容器用のパージタワーアセンブリであって、
前記基板容器の底部プレートに取り付けるためのパージインターフェース本体を含み、前記パージインターフェース本体は、
下端部から上端部まで上方に延在する実質的に管状の基部側壁を有する基部部分であって、前記下端部は、前記基部部分の内部にアクセスするための第1の開口部を画定し、前記第1の開口部は、第1の軸について同心である、基部部分と、
前記基部部分に接続された上部部分であって、前記上部部分は前記基部部分の前記上端部に配置された上部側壁を含み、前記上部部分は前記基板容器の前記底部プレートの入口を介して取り付けられるように構成された入口ノズルを含み、前記入口ノズルは前記上部側壁からノズル端部まで上方に延在する実質的に管状のノズル側壁を有し、前記ノズル端部は前記入口ノズルの内部にアクセスするための第2の開口部を画定し、前記第2の開口部は前記第1の軸に対して実質的に平行でかつ前記第1の軸の後方に位置する第2の軸について同心であり、前記上部側壁は前記基部部分と協働して前記第1の開口部と前記入口ノズルとの間に配置されたオフセット導管部分を画定し、前記基部部分および前記入口ノズルは前記オフセット導管部分を介して流体連通する、上部部分とを含む、パージタワーアセンブリ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 T
, B65D85/30 500
3E096AA06
, 3E096BA16
, 3E096BB04
, 3E096CA03
, 3E096CB03
, 3E096CC02
, 3E096DA30
, 3E096DC02
, 3E096EA02X
, 3E096FA40
, 5F131AA02
, 5F131AA03
, 5F131AA12
, 5F131AA32
, 5F131AA33
, 5F131AA34
, 5F131CA09
, 5F131CA15
, 5F131CA32
, 5F131GA14
, 5F131GA22
, 5F131GA63
, 5F131GA88
, 5F131GA92
, 5F131JA04
, 5F131JA33
, 5F131JA35
