特許

J-GLOBAL ID：201803016610904660

波面計測方法、波面計測装置、プログラムおよび記録媒体

発明者： 鎌田 美智子 ,  加藤 正磨 ,  直井 俊幸
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (3件)： 藤元 亮輔 ,  水本 敦也 ,  平山 倫也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-138207
公開番号（公開出願番号）：特開2018-009856
出願日： 2016年07月13日
公開日（公表日）： 2018年01月18日
要約：

【課題】回折格子を用いるシアリング干渉計測において、高精度に傾斜成分を補正した波面を取得可能な波面計測方法、波面計測装置、プログラムおよび記録媒体を提供すること。【解決手段】被検光の波面をシアリング干渉によって計測する波面計測方法であって、回折格子パターンを透過し、検出面で検出された光に基づいて、第1の画像を取得する第1取得ステップと、回折格子パターンおよび回折格子パターンとは異なる光学パターンを透過し、検出面で検出された光に基づいて、第2の画像を取得する第2取得ステップと、第1および第2の画像、ならびに回折格子パターン、光学パターン、および検出面の位置関係に関する情報に基づいて、被検光の波面の傾斜成分を補正した波面を算出する算出ステップと、を有する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被検光の波面をシアリング干渉によって計測する波面計測方法であって、 回折格子パターンを透過し、検出面で検出された光に基づいて、第1の画像を取得する第1取得ステップと、 前記回折格子パターンおよび前記回折格子パターンとは異なる光学パターンを透過し、前記検出面で検出された光に基づいて、第2の画像を取得する第2取得ステップと、 前記第1および第2の画像、ならびに前記回折格子パターン、前記光学パターン、および前記検出面の位置関係に関する情報に基づいて、前記被検光の波面の傾斜成分を補正した波面を算出する算出ステップと、を有することを特徴とする波面計測方法。

IPC (2件)：

G01M 11/02 ,  G01B 9/02

FI (2件)：

G01M11/02 B ,  G01B9/02

Fターム (7件)：

2F064BB04 ,  2F064CC04 ,  2F064FF01 ,  2F064GG44 ,  2F064GG49 ,  2F064HH08 ,  2G086HH06