マルチステージシステムおよびリソグラフィ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：森下賢樹 , 青木武司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-095138
公開番号（公開出願番号）：特開2018-159934
出願日： 2018年05月17日
公開日（公表日）： 2018年10月11日
要約：

【課題】2つのステージが互いに近づくことができるマルチステージシステムを提供することが望ましい。【解決手段】第1方向と平行に延びるステータとステータに対し移動可能な第1及び第2ステージとを含むマルチステージシステムを制御する方法である。それらステージは磁場を生成するマグネットシステムを備える。ステータは、磁場と相互作用しステージをステータに対し位置決めする複数のコイルを備える。本方法は、それらステージの位置を決定することと、第1ステージ、第2ステージそれぞれの磁場と無視できない相互作用を有する可能性のあるコイルの第1及び第2サブセットを選択することと、両方のサブセットの電気コイルを駆動することと、を含む。コイルを駆動することは、両方のサブセットの一部となっているコイルを決定することと、両方のサブセットの一部であるコイルを駆動対象から除くことと、を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1方向および第2方向と実質的に平行に延び、第2方向が第1方向と直交するキャリアと、キャリアに対して第1方向および第2方向に移動可能な第1ステージと、キャリアに対して第1方向および第2方向に移動可能な第2ステージと、を備え、第1ステージおよび第2ステージのそれぞれは、磁場を生成するマグネットシステムを備え、キャリアは、複数の電気コイルのアレイを備え、複数の電気コイルは、第1ステージおよび第2ステージをキャリアに対して位置決めするよう第1ステージおよび第2ステージに力を生成するように、第1ステージおよび第2ステージのマグネットシステムによって生成される磁場と相互作用するよう構成されており、各マグネットシステムは、第1方向および第2方向と実質的に直交する第3方向に磁化の向きを有し、その磁化の向きはキャリアを向く第1マグネットと、第3方向に磁化の向きを有し、その磁化の向きはキャリアから離れる向きである第2マグネットと、を含み、第1マグネットおよび第2マグネットは互いに実質的に直交する奇数個の行と奇数個の列とからなるパターンにしたがって配置され、第1マグネットおよび第2マグネットは各行各列に交互に配置され、第1ステージのマグネットシステムは対角線上に配置された第1マグネットを有し、第2ステージのマグネットシステムは対角線上に配置された第2マグネットを有するマルチステージシステム。

IPC (2件)：

G03F 7/20 , H01L 21/68

FI (3件)：

G03F7/20 501 , G03F7/20 521 , H01L21/68 K

Fターム (42件)：

2H197AA05 , 2H197AA09 , 2H197AA10 , 2H197AA12 , 2H197AA28 , 2H197CA03 , 2H197CA05 , 2H197CA06 , 2H197CA08 , 2H197CA09 , 2H197CA10 , 2H197CB01 , 2H197CC01 , 2H197CC05 , 2H197CD12 , 2H197CD13 , 2H197CD35 , 2H197CD41 , 2H197CD43 , 2H197CD48 , 2H197DA04 , 2H197DC05 , 2H197DC14 , 2H197GA01 , 2H197HA03 , 2H197HA04 , 2H197HA05 , 2H197HA10 , 5F131AA02 , 5F131AA03 , 5F131AA32 , 5F131BA13 , 5F131CA32 , 5F131EA02 , 5F131EA14 , 5F131EA22 , 5F131EB01 , 5F131EB11 , 5F131KA03 , 5F131KA16 , 5F131KA47 , 5F131KB32

引用特許：

出願人引用 (1件)

リソグラフィ装置およびデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-228805 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.

審査官引用 (1件)

リソグラフィ装置およびデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-228805 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.

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