特許
J-GLOBAL ID:201803016807678611

構造化照明イメージングシステムにおいて使用される交換可能な照明フィルタセットのためのシステムおよび方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 山本 秀策 ,  森下 夏樹
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-562591
公開番号(公開出願番号):特表2018-522267
出願日: 2016年05月10日
公開日(公表日): 2018年08月09日
要約:
構造化照明画像を生成する装置は、筐体と、筐体内に取り付けられた、フォトマスク上のパターンに対応する焦点が合った光のパターンがサンプル上に投射されるように照明源からの照明を焦点合わせするよう構成されたイメージング光学系と、筐体内に取り付けられて照明をサンプルに反射させるよう構成されたリフレクタと、照明されたサンプルからの放射のみがセンサを透過することを可能にするよう構成された、筐体内に取り付けられた1つ以上のフィルタを含むフィルタ装置と、装置がイメージングシステム内に設置されることを可能にするよう構成された筐体上の取り付け機構と、を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
構造化照明画像を生成する装置であって、 筐体と、 フォトマスク上のパターンに対応する焦点の合った光のパターンがサンプル上に投射されるように照明源からの照明を焦点合わせするよう構成された、前記筐体内に取り付けられたイメージング光学系と、 前記筐体内に取り付けられ、前記照明をサンプルに反射するよう構成されたリフレクタと、 前記照明されたサンプルからの放射のみがセンサを透過することを可能にするよう構成された、前記筐体内に取り付けられた1つ以上のフィルタを含むフィルタ装置と、 前記装置がイメージングシステム内に設置されることを可能にするよう構成された、前記筐体上の取り付け機構と、を備える、装置。
IPC (2件):
G02B 21/06 ,  G01N 21/64
FI (2件):
G02B21/06 ,  G01N21/64 F
Fターム (31件):
2G043AA01 ,  2G043EA01 ,  2G043FA01 ,  2G043FA06 ,  2G043GA02 ,  2G043GA04 ,  2G043GA06 ,  2G043GA07 ,  2G043GA08 ,  2G043GB21 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA15 ,  2G043JA02 ,  2G043JA03 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03 ,  2G043MA01 ,  2G043MA04 ,  2G043MA16 ,  2G043NA01 ,  2G043NA05 ,  2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC29 ,  2H052AC33 ,  2H052AD34 ,  2H052AF14 ,  2H052AF25
引用特許:
審査官引用 (4件)
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