広角回転機構を有する露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人武和国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-178468
公開番号（公開出願番号）：特開2015-050197
特許番号：特許第6242119号
出願日： 2013年08月29日
公開日（公表日）： 2015年03月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ハーフインチサイズのウェハを用いるミニマルファブ生産システムに使用され、真空ポンプを備えた単位処理装置に内蔵される露光装置であって、架台に固定された中心軸と、前記架台をX軸方向に位置調整するX軸移動手段およびY軸方向に位置調整するY軸移動手段と、前記中心軸に外挿されて前記中心軸に対しθ軸方向に回転可能かつZ軸方向に移動可能な外周ステージと、前記外周ステージをθ軸方向に回転位置調整させるθ軸移動手段およびZ軸方向に移動させるZ軸移動手段と、を有し、前記θ軸移動手段は、前記X軸移動手段、前記Y軸移動手段および前記Z軸移動手段よりも前記架台の上面に対して最も高い位置に配置され、前記外周ステージは、その上端面に形成されて前記ウェハを載置する第1載置面と、前記第1載置面に開口する第1真空吸着口と、前記中心軸との摺動面に開口して前記第1真空吸着口と連通する第1連通口と、を有し、前記中心軸は、その上端面に形成されて前記ウェハを載置する第2載置面と、前記第2載置面に開口する第2真空吸着口と、前記外周ステージとの摺動面に開口して前記第2真空吸着口と連通する第2連通口と、前記第2連通口とは異なる位置で前記外周ステージとの摺動面に開口して真空ポンプ連絡通路と連通する第3連通口と、を有し、前記第2連通口および前記第3連通口は、前記中心軸の円周方向に亘る溝として形成され、前記第1載置面と前記第2載置面との相対的位置に応じて真空吸着口が切り替わり、前記第1真空吸着口および前記第2真空吸着口のいずれか一方が前記真空ポンプに繋がる、露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ( 200 6.01) , H01L 21/027 ( 200 6.01) , G03F 7/20 ( 200 6.01) , G03F 9/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/68 K , H01L 21/30 503 A , G03F 7/20 521 , G03F 9/00 H

引用特許：

審査官引用 (7件)

基板の位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-033742 出願人：株式会社ニコン
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-267033 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 株式会社三明, 株式会社ナノテック
ステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-043260 出願人：キヤノン株式会社

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