特許

J-GLOBAL ID：201803017068914898

表示装置

発明者： 山崎 舜平
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-098619
公開番号（公開出願番号）：特開2018-142729
出願日： 2018年05月23日
公開日（公表日）： 2018年09月13日
要約：

【課題】表示装置の画素部に用いられる、高信頼性を有する、酸化物半導体膜を含むトランジスタを提供する。【解決手段】第1のゲート電極と、第1のゲート電極の上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、第1のゲート絶縁膜の上に設けられた酸化物半導体膜と、酸化物半導体膜の上に設けられたソース電極及びドレイン電極と、ソース電極、ドレイン電極及び酸化物半導体膜の上に設けられた第2のゲート絶縁膜と、第2のゲート絶縁膜の上に設けられた第2のゲート電極と、第2のゲート絶縁膜の上に設けられた平坦性を有する有機樹脂膜と、平坦性を有する有機樹脂膜の上に設けられた画素電極と、を有し、酸化物半導体膜は二次イオン質量分析法で検出される水素原子の濃度が1×1016cm-3未満である表示装置である。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

EL表示素子又は電子ペーパー表示素子を有する表示装置であって、 第1のゲート電極と、 前記第1のゲート電極上の第1のゲート絶縁膜と、 前記第1のゲート絶縁膜上の酸化物半導体膜と、 前記酸化物半導体膜上に設けられ、且つ前記酸化物半導体膜と電気的に接続されたソース電極と、 前記酸化物半導体膜上に設けられ、且つ前記酸化物半導体膜と電気的に接続されたドレイン電極と、 前記酸化物半導体膜上の第2のゲート絶縁膜と、 前記第2のゲート絶縁膜上の第2のゲート電極と、を有し、 前記第2のゲート絶縁膜上の有機樹脂膜を有し、 前記第1のゲート電極は、前記第2のゲート電極と電気的に接続されず、 前記第1のゲート電極は、前記第2のゲート電極とは異なる電位を供給することができ、 前記有機樹脂膜は、前記第2のゲート電極と重なる領域を有さないことを特徴とする表示装置。

IPC (6件)：

H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  G09F 9/30 ,  H01L 51/50 ,  H01L 27/32 ,  G02F 1/167

FI (7件)：

H01L29/78 619A ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 617N ,  G09F9/30 338 ,  H05B33/14 A ,  H01L27/32 ,  G02F1/167

Fターム (111件)：

2K101AA04 ,  2K101AA08 ,  2K101BA02 ,  2K101BA12 ,  2K101BB43 ,  2K101BC02 ,  2K101BD61 ,  2K101EC08 ,  2K101ED13 ,  2K101EE02 ,  2K101EJ23 ,  2K101EK35 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC21 ,  3K107EE04 ,  5C094AA31 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094BA75 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094DB04 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB01 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094HA06 ,  5C094HA07 ,  5C094HA08 ,  5F110AA06 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE11 ,  5F110EE14 ,  5F110EE23 ,  5F110EE30 ,  5F110EE37 ,  5F110EE38 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF05 ,  5F110FF06 ,  5F110FF07 ,  5F110FF09 ,  5F110FF28 ,  5F110FF36 ,  5F110GG01 ,  5F110GG06 ,  5F110GG14 ,  5F110GG16 ,  5F110GG25 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110GG33 ,  5F110GG34 ,  5F110GG35 ,  5F110GG43 ,  5F110GG57 ,  5F110GG58 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK21 ,  5F110HK33 ,  5F110HK41 ,  5F110HK42 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HL11 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN34 ,  5F110NN36 ,  5F110NN71 ,  5F110NN73 ,  5F110PP02 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ19