特許

J-GLOBAL ID：201803017108554407

パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、及び積層体

発明者： 福原 敏明 ,  畠山 直也 ,  山本 慶
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人航栄特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016078299
公開番号（公開出願番号）：WO2017-057288
出願日： 2016年09月26日
公開日（公表日）： 2017年04月06日
要約：

本発明によれば、(a)感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物により感活性光線性又は感放射線性膜を形成する工程、(b)感活性光線性又は感放射線性膜上に架橋剤を含む上層膜形成用組成物により上層膜を形成する工程、(c)感活性光線性又は感放射線性膜を露光する工程、及び(d)露光された感活性光線性又は感放射線性膜を、現像液で現像する工程を含むパターン形成方法、電子デバイスの製造方法、及び、芳香環を有する繰り返し単位を含有する樹脂を含む感活性光線性又は感放射線性膜と上層膜とを含む積層体であって、上層膜は、活性光線又は放射線により酸を発生しない、分子量5000以下の化合物(Q)を、上記上層膜の全質量に対して1〜40質量%以下含む、積層体が提供される。

請求項（抜粋）：

(a)感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物により感活性光線性又は感放射線性膜を形成する工程、 (b)前記感活性光線性又は感放射線性膜上に上層膜形成用組成物により上層膜を形成する工程、 (c)前記上層膜が形成された前記感活性光線性又は感放射線性膜を露光する工程、及び (d)露光された前記感活性光線性又は感放射線性膜を、現像液で現像する工程 を含むパターン形成方法であって、 前記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物が、芳香環を有する繰り返し単位を含有する樹脂を含み、 前記上層膜形成用組成物が、活性光線又は放射線により酸を発生しない、分子量5000以下の化合物(Q)を、前記上層膜形成用組成物の全固形分に対して1質量%以上40質量%以下含む、パターン形成方法。

IPC (7件)：

G03F 7/11 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/32 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

G03F7/11 501 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/32 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/32 501 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 573

Fターム (100件)：

2H196AA25 ,  2H196BA06 ,  2H196BA11 ,  2H196DA04 ,  2H196EA06 ,  2H196EA07 ,  2H196FA01 ,  2H196GA03 ,  2H196GA08 ,  2H196JA02 ,  2H197AA12 ,  2H197AA24 ,  2H197CA06 ,  2H197CA08 ,  2H197CA09 ,  2H197CA10 ,  2H197CE01 ,  2H197HA02 ,  2H197HA03 ,  2H197HA05 ,  2H197HA10 ,  2H197JA22 ,  2H225AE04P ,  2H225AE05P ,  2H225AF23N ,  2H225AF23P ,  2H225AF24P ,  2H225AF25P ,  2H225AF32P ,  2H225AF35P ,  2H225AF44P ,  2H225AF52P ,  2H225AF53P ,  2H225AF54P ,  2H225AF64P ,  2H225AF68P ,  2H225AF70N ,  2H225AF70P ,  2H225AF99P ,  2H225AH01 ,  2H225AH03 ,  2H225AH11 ,  2H225AH12 ,  2H225AH16 ,  2H225AH19 ,  2H225AH49 ,  2H225AJ04 ,  2H225AJ13 ,  2H225AJ48 ,  2H225AJ53 ,  2H225AJ54 ,  2H225AJ72 ,  2H225AM01N ,  2H225AM10N ,  2H225AM12N ,  2H225AM12P ,  2H225AM15N ,  2H225AM22N ,  2H225AM22P ,  2H225AM23N ,  2H225AM23P ,  2H225AM27N ,  2H225AM30N ,  2H225AM32N ,  2H225AM42N ,  2H225AM43N ,  2H225AM52N ,  2H225AM58N ,  2H225AM94N ,  2H225AM99N ,  2H225AM99P ,  2H225AN10N ,  2H225AN11N ,  2H225AN31N ,  2H225AN38P ,  2H225AN39P ,  2H225AN42P ,  2H225AN56N ,  2H225AN57P ,  2H225AN63P ,  2H225AN67N ,  2H225AN82P ,  2H225AN86P ,  2H225AN88N ,  2H225AP01N ,  2H225BA01N ,  2H225BA01P ,  2H225BA02P ,  2H225BA26P ,  2H225BA29P ,  2H225CA12 ,  2H225CB14 ,  2H225CB18 ,  2H225CC01 ,  2H225CC03 ,  2H225CC15 ,  2H225CC17 ,  2H225CD05 ,  5F146NA03 ,  5F146NA13